[發明專利]一種真空鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201310093402.6
• 申請日: 2013-03-20
• 公開（公告）號: CN103147052A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 徐海波;仲梁維
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉

1.一種真空鍍膜裝置，用于將鍍膜材料鍍到基片上，含有：真空室、轉動軸、鍍膜材料置放部支撐座以及對所述基片進行夾持的復數個夾具，其特征在于，還具有：

兩個鍍膜鍋，一個作為基板，另一個作為用于置放所述鍍膜材料的鍍膜材料置放部；和

一個基板承載部，與所述轉動軸相連，用于承載作為基板的所述鍍膜鍋和裝載所述復數個夾具，

其中，所述鍍膜鍋包括：鍋底板、與該鍋底板固定相連并環繞所述鍋底板設置的鍋身，所述鍋底板含有：定位凸臺、與所述夾具的形狀相對應并且個數相等的復數個貫穿孔、第一連接部以及第二連接部，所述第一連接部與所述基板承載部相對應，用于當所述鍍膜鍋作為基板時與所述基板承載部相連接，所述第二連接部與所述鍍膜材料置放部支撐座相對應，用于當所述鍍膜鍋作為鍍膜材料置放部時與所述鍍膜材料置放部支撐座相連接，

所述基板承載部包含：與所述轉動軸相匹配的定位座和與該定位座固定相連的承載板，所述定位座與所述轉動軸相連，所述承載板上設有：與所述定位凸臺相對應的定位凹槽、與所述第一連接部相對應的連接固定部以及與所述復數個貫穿孔和所述復數個夾具相對應用于連接該復數個夾具的夾具裝載部，

當所述鍍膜鍋作為基板時，所述夾具的連接軸穿過所述貫穿孔與所述夾具裝載部相連。

2.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述定位凸臺上設有第一外螺紋、所述定位凹槽內設有與所述第一外螺紋相匹配的第一內螺紋，

在所述鍋底板作為基板時，所述定位凸臺與所述定位凹槽通過所述第一外螺紋與所述第一內螺紋相連接。

3.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述第一連接部含有若干個第一螺紋孔，

所述連接固定部含有：與所述第一螺紋孔的形狀相對應，并且個數與所述若干個第一螺紋孔的個數相同的若干個第二螺紋孔；以及與所述第一螺紋孔和所述第二螺紋孔相對應，并且個數與所述第二螺紋孔的個數相同的若干個第一螺栓。

4.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述鍋底板的形狀為圓臺形。

5.根據權利要求1或4所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述鍋底板的厚度在1~4mm范圍內。

6.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述轉動軸與所述定位座采用螺紋連接、嵌合連接、卡合連接中的任一種連接方式相連。

7.根據權利要求6所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述轉動軸與所述定位座采用螺紋連接方式相連，

所述轉動軸含有用于安裝所述基板承載部的安裝部，所述安裝部含有多個第二螺栓，

所述定位座包括與所述多個第二螺栓相對應，并且個數相等的多個第三螺紋孔。

8.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述夾具裝載部包括與所述復數個夾具的個數相等的復數個夾具裝載臺。

9.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述夾具的連接軸與所述夾具裝載臺采用螺紋連接、嵌合連接、卡合連接中的任一種連接方式相連。

10.根據權利要求9所述的真空鍍膜裝置，其特征在于：

其中，所述夾具的連接軸與所述夾具裝載臺采用螺紋連接方式相連，

所述夾具的連接軸上含有第二外螺紋，

所述夾具裝載臺具有與所述連接軸相對應的裝載凹槽，該裝載凹槽內設有第二內螺紋。