[發明專利]一種晶體硅太陽能電池石蠟掩膜處理方法無效

申請號：	201310092347.9	申請日：	2013-03-22
公開（公告）號：	CN103208560A	公開（公告）日：	2013-07-17
發明（設計）人：	不公告發明人	申請（專利權）人：	江蘇榮馬新能源有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18
代理公司：	南京經緯專利商標代理有限公司 32200	代理人：	張惠忠
地址：	223700 江蘇省宿***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種晶體太陽能電池石蠟處理方法
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【權利要求書】：

1.一種晶體硅太陽能電池石蠟掩膜處理方法，包括石蠟打印機和刻蝕機，其特征包括以下步驟：第一步，待處理的晶體硅太陽能電池的圖形輸入到打印機里；將固體石蠟放在石蠟溶液罐，高溫加熱后變成液體然后輸送到石蠟打印機的打印頭；將待處理的晶體硅太陽能電池置于石蠟打印機的打印臺內，將石蠟打印機的Y軸分辨率設定為300dpi-900dpi；將刻蝕機的帶速設定為1.4m/min-1.6?m/min；第二步，通過石蠟打印機將圖形打印到待處理的晶體硅太陽能電池的硅片表面形成掩膜；第三步，通過刻蝕機將已完成圖形打印的硅片進行刻蝕。

2.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池石蠟掩膜處理方法，其特征在于：所述刻蝕機的帶速為1.5?m/min，所述石蠟打印機的Y軸分辨率為600dpi。

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