[發(fā)明專利]一種基片承載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310087567.2
• 申請(qǐng)日: 2013-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN103132043A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁會(huì)波;仲梁維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉

1.一種安裝在真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的基片承載裝置，其特征在于，具有：

連接單元，與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連；和

基片承載單元，與所述連接單元卡合相連，包括定位臺(tái)和與所述定位臺(tái)固定相連的基片承載架，

其中，所述定位臺(tái)含有定位臺(tái)本體和設(shè)置在該定位臺(tái)本體上的卡槽，

所述連接單元含有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接部和與所述基片承載單元相匹配的基片承載單元連接部，

該基片承載單元連接部包含具有凹槽和設(shè)置在該凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的連接部本體和安裝在所述連接部本體上的卡緊機(jī)構(gòu)，所述凹槽與所述定位臺(tái)本體相嵌合，

所述卡緊機(jī)構(gòu)含有安裝在所述凸槽內(nèi)的鎖舌、用于推動(dòng)所述鎖舌進(jìn)入所述卡槽內(nèi)的推力構(gòu)件以及用于拉動(dòng)所述鎖舌離開所述卡槽的拉柄。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片承載裝置，其特征在于：

其中，所述鎖舌含有一個(gè)鎖桿和一個(gè)在與所述定位臺(tái)本體相抵接時(shí)推動(dòng)所述鎖桿向著所述拉柄移動(dòng)的抵接面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片承載裝置，其特征在于：

其中，所述推力構(gòu)件為推力彈簧。