[發明專利]輝光放電切削裝置和輝光放電切削方法

無效

• 申請號: 201310082958.5
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103323316A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 藤本明良;中村龍人
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

技術領域

本發明涉及通過伴隨輝光放電的濺射，對試樣表面進行切削的輝光放電切削裝置和輝光放電切削方法。

背景技術

現有利用輝光放電對作為觀察或分析對象的試樣表面進行切削的技術（例如參照日本專利特許第4143620號）。此時，用于濺射的氣體是不活潑氣體或混合有不活潑氣體的混合氣體。另一方面，為了形成用于熱敏打印機的熱敏打印頭，具有使用氬氣和氧氣的混合氣體進行濺射的技術（例如參照日本專利公開公報特開平10－305603號）。

本發明人發現，作為用于濺射的氣體，當在不活潑氣體中混合氧氣的情況下，處理后的試樣表面的平滑度變高。可是，氧氣的混合比越大，蝕刻速度就越慢。另一方面，在減小氧氣的混合比的情況下，蝕刻速度雖然增大，但處理后的試樣表面的平滑度降低。適合濺射的氧氣的混合比，每種試樣都不同。

發明內容

鑒于所述的問題，本發明的目的是提供輝光放電切削裝置和輝光放電切削方法，能根據試樣恰當地設定由不活潑氣體和氧氣構成的混合氣體中的氧分壓。

本發明提供一種輝光放電切削裝置，在通過配管向輝光放電管提供的混合氣體的氣氛下，通過輝光放電對試樣進行切削，所述輝光放電是通過在所述輝光放電管內部的電極和與該電極相對配置的試樣之間施加電壓而產生的，所述輝光放電切削裝置包括：接受部，接受將不活潑氣體和氧氣混合的混合比；控制部，根據所述接受部已接受的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量；以及供給部，把由所述控制部分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過所述配管提供給所述輝光放電管。

在本發明的輝光放電切削裝置中，接受把不活潑氣體和氧氣混合的混合比，根據已接受的混合比分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量。輝光放電切削裝置把分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過配管提供給輝光放電管。輝光放電切削裝置在提供的混合氣體的氣氛下，利用通過在輝光放電管內部的電極和試樣之間施加電壓而產生的輝光放電，對試樣進行切削。

本發明還提供一種輝光放電切削裝置，在通過配管向輝光放電管提供的混合氣體的氣氛下，通過輝光放電對試樣進行切削，所述輝光放電是通過在所述輝光放電管內部的電極和與該電極相對配置的試樣之間施加電壓而產生的，所述輝光放電切削裝置包括：檢測部，檢測施加有電壓的試樣表面產生的電壓的自偏壓值；存儲部，以將所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比；檢索部，根據所述檢測部檢測到的所述自偏壓值，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比；控制部，根據所述檢索部檢索到的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量；以及供給部，把由所述控制部分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過所述配管提供給所述輝光放電管。

在本發明的輝光放電切削裝置中，檢測在施加有電壓的試樣表面產生的電壓的自偏壓值。輝光放電切削裝置根據檢測到的自偏壓值，從以將自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比的存儲部檢索混合比。輝光放電切削裝置根據檢索到的混合比分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量。輝光放電切削裝置把分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過配管提供給輝光放電管。輝光放電切削裝置在提供的混合氣體的氣氛下，利用通過在輝光放電管內部的電極和試樣之間施加電壓而產生的輝光放電，對試樣進行切削。

本發明還提供一種輝光放電切削裝置，在通過配管向輝光放電管提供的混合氣體的氣氛下，通過輝光放電對試樣進行切削，所述輝光放電是通過在所述輝光放電管內部的電極和與該電極相對配置的試樣之間施加電壓而產生的，所述輝光放電切削裝置的特征在于，所述輝光放電裝置包括：接受部，接受試樣的種類；存儲部，以將試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比；檢索部，根據所述接受部已接受的試樣的種類，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比；控制部，根據所述檢索部檢索到的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量；以及供給部，把由所述控制部分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過所述配管提供給所述輝光放電管。