[發明專利]輝光放電切削裝置和輝光放電切削方法

無效

• 申請號: 201310082958.5
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103323316A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 藤本明良;中村龍人
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

1.一種輝光放電切削裝置，在通過配管向輝光放電管提供的混合氣體的氣氛下，通過輝光放電對試樣進行切削，所述輝光放電是通過在所述輝光放電管內部的電極和與該電極相對配置的試樣之間施加電壓而產生的，所述輝光放電切削裝置的特征在于，

所述輝光放電切削裝置包括：

接受部，接受將不活潑氣體和氧氣混合的混合比；

控制部，根據所述接受部已接受的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量；以及

供給部，把由所述控制部分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過所述配管提供給所述輝光放電管。

2.根據權利要求1所述的輝光放電切削裝置，其特征在于，

所述輝光放電切削裝置還包括：

檢測部，檢測施加有電壓的試樣表面產生的電壓的自偏壓值；

存儲部，以將所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比；以及

檢索部，根據所述檢測部檢測到的所述自偏壓值，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比；

所述控制部根據所述檢索部檢索到的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量。

3.根據權利要求2所述的輝光放電切削裝置，其特征在于，

所述接受部接受試樣的種類，

所述存儲部以將試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比，

所述檢索部根據所述接受部已接受的試樣的種類，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比。

4.一種輝光放電切削裝置，在通過配管向輝光放電管提供的混合氣體的氣氛下，通過輝光放電對試樣進行切削，所述輝光放電是通過在所述輝光放電管內部的電極和與該電極相對配置的試樣之間施加電壓而產生的，所述輝光放電切削裝置的特征在于，

所述輝光放電切削裝置包括：

檢測部，檢測施加有電壓的試樣表面產生的電壓的自偏壓值；

存儲部，以將所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有所述自偏壓值與不活潑氣體和氧氣的混合比；

檢索部，根據所述檢測部檢測到的所述自偏壓值，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比；

控制部，根據所述檢索部檢索到的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量；以及

供給部，把由所述控制部分別控制了供給量的不活潑氣體和氧氣混合，把混合氣體通過所述配管提供給所述輝光放電管。

5.根據權利要求4所述的輝光放電切削裝置，其特征在于，所述輝光放電切削裝置還包括接受部，該接受部接受試樣的種類，

在所述存儲部中以將試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比取得對應的方式存儲有試樣的種類與不活潑氣體和氧氣的混合比，

所述檢索部根據所述接受部已接受的試樣的種類，從存儲在所述存儲部中的內容檢索所述混合比。

6.根據權利要求5所述的輝光放電切削裝置，其特征在于，

在所述存儲部中以將試樣的材質、混合比和切削速度取得對應的方式存儲有試樣的材質、混合比和切削速度，

當試樣是由不同的材質在切削方向上層疊而成的層疊體時，所述接受部接受各層的材質、層疊順序以及厚度，

所述檢索部根據所述接受部已接受的各層的材質，從存儲在所述存儲部中的內容分別檢索所述混合比和所述切削速度，

所述控制部按照所述接受部已接受的層疊順序，并根據所述接受部已接受的各層的厚度和所述檢索部檢索到的切削速度，分別決定變更不活潑氣體和氧氣的供給量的時刻，在決定了的時刻根據所述檢索部檢索到的所述混合比，分別控制不活潑氣體和氧氣的供給量。