[發(fā)明專利]一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟及其制作方法

有效

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• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103114268A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設計）人: 黃向東;曹志冠
• 申請（專利權(quán)）人: 福州賽瑞特新材料技術開發(fā)有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/14;C04B35/582;C04B35/583;C04B35/5835
• 代理公司: 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

技術領域

本發(fā)明涉及真空蒸發(fā)鍍鋁薄膜用蒸發(fā)元件及其制作方法，具體涉及一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟及其制作方法。

背景技術

真空蒸發(fā)鍍鋁的技術是綜合成本最低的大規(guī)模制造金屬鋁薄膜的方法，其在多種工業(yè)和日常用品中具有大量使用，如大容量薄膜電容器、各種保鮮鋁塑包裝材料、陰極射線管顯示器內(nèi)的電子疏散膜等等。

真空蒸發(fā)鍍鋁過程中最關鍵的消耗性元器件就是使金屬鋁絲變成鋁蒸汽的加熱元件、蒸發(fā)舟或蒸發(fā)坩堝。由于金屬鋁活性很大，因此作為蒸發(fā)舟或蒸發(fā)坩堝的材料必須能夠耐受鋁液的腐蝕。目前，真空蒸發(fā)鍍鋁工業(yè)用的加熱元件根據(jù)不同的鍍膜設備有以下兩種類型：（1）二硼化鈦/氮化硼/氮化鋁復合導電陶瓷制備的蒸發(fā)舟；（2）高純石墨制備的坩堝。

二硼化鈦/氮化硼/氮化鋁復合導電陶瓷蒸發(fā)舟是目前絕大多數(shù)鍍膜設備的標準配置。該導電陶瓷蒸發(fā)舟由于高溫鋁腐蝕，其使用壽命一般只有12~16小時，最高不會超過20小時。由于該蒸發(fā)舟的不均勻腐蝕，同時也由于被蒸發(fā)的鋁液也參與導電發(fā)熱，到蒸發(fā)舟壽命的中后期容易造成鋁液飛濺、燒穿基材、形成針孔的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對上述現(xiàn)有技術存在的問題做出改進，即本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案一是：一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，包括自上而下依次層疊的陶瓷舟和石墨發(fā)熱體，所述陶瓷舟是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽的舟體，所述石墨發(fā)熱體是采用高純細晶石墨制備而成，所述陶瓷舟和石墨發(fā)熱體之間設有粘膠以粘合成蒸發(fā)舟。

進一步的，所述粘膠按重量配比為50%~80%的酚醛樹脂和20%~50%的調(diào)和輔料，所述調(diào)和輔料是高純鱗片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一種或多種的組合。

進一步的，所述熱壓氮化硼基復合陶瓷為氮化硼/氮化鋁復合陶瓷。

進一步的，所述石墨發(fā)熱體頂面設有與陶瓷舟底部相配合的凹槽。

進一步的，所述陶瓷舟底面設有與凹槽相配合的凸臺。

進一步的，所述凹槽為沉槽或U形槽。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案二是：一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟的制作方法，包括以下步驟：（1）制備陶瓷舟：以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽的陶瓷舟；（2）制備石墨發(fā)熱體：以高純細晶石墨制備成石墨發(fā)熱體；（3）粘接成蒸發(fā)舟：用粘膠將陶瓷舟和石墨發(fā)熱體粘合在一起并壓緊固化，然后碳化制成蒸發(fā)舟。

進一步的，步驟（1）中的熱壓氮化硼基復合陶瓷為氮化硼/氮化鋁復合陶瓷。

進一步的，步驟（2）中的石墨發(fā)熱體頂面設有與陶瓷舟底部相配合的凹槽。

進一步的，步驟（3）中的粘膠按重量配比為50%~80%的酚醛樹脂和20%~50%的調(diào)和輔料，所述調(diào)和輔料是高純鱗片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一種或多種的組合。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下有益效果：該粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟具有制作工藝簡單、產(chǎn)品性能優(yōu)良且使用壽命更長等優(yōu)點，可以將被蒸發(fā)鋁液與發(fā)熱元件絕緣開來，大幅降低鋁液飛濺，提高膜材質(zhì)量，具有顯著的經(jīng)濟和社會效益。

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明做進一步詳細的說明。

附圖說明

圖1為實施例一的爆炸示意圖。

圖2為實施例一或?qū)嵤├慕Y(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為實施例二的爆炸示意圖。

圖4為實施例三的爆炸示意圖。

圖5為實施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為實施例四的爆炸示意圖。

圖7為實施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-陶瓷舟，11-蒸發(fā)槽，12-凸臺，2-石墨發(fā)熱體，21-沉槽，22-U形槽，3-粘膠。

具體實施方式

實施例一：如圖1~2所示，一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，包括自上而下依次層疊的陶瓷舟1和石墨發(fā)熱體2，所述陶瓷舟1是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽11的舟體，所述石墨發(fā)熱體2是采用高純細晶石墨制備而成，所述陶瓷舟1底面和石墨發(fā)熱體2頂面之間設有粘膠3以粘合成蒸發(fā)舟。