[發(fā)明專利]一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310081697.5
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103114268A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃向東;曹志冠
• 申請（專利權(quán)）人: 福州賽瑞特新材料技術(shù)開發(fā)有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/14;C04B35/582;C04B35/583;C04B35/5835
• 代理公司: 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

1.一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：包括自上而下依次層疊的陶瓷舟和石墨發(fā)熱體，所述陶瓷舟是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽的舟體，所述石墨發(fā)熱體是采用高純細晶石墨制備而成，所述陶瓷舟和石墨發(fā)熱體之間設(shè)有粘膠以粘合成蒸發(fā)舟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：所述粘膠按重量配比為50%~80%的酚醛樹脂和20%~50%的調(diào)和輔料，所述調(diào)和輔料是高純鱗片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一種或多種的組合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：所述熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷為氮化硼/氮化鋁復(fù)合陶瓷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：所述石墨發(fā)熱體頂面設(shè)有與陶瓷舟底部相配合的凹槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：所述陶瓷舟底面設(shè)有與凹槽相配合的凸臺。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟，其特征在于：所述凹槽為沉槽或U形槽。

7.一種粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：（1）制備陶瓷舟：以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽的陶瓷舟；（2）制備石墨發(fā)熱體：以高純細晶石墨制備成石墨發(fā)熱體；（3）粘接成蒸發(fā)舟：用粘膠將陶瓷舟和石墨發(fā)熱體粘合在一起并壓緊固化，然后碳化制成蒸發(fā)舟。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟的制作方法，其特征在于：步驟（1）中的熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷為氮化硼/氮化鋁復(fù)合陶瓷。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟的制作方法，其特征在于：步驟（2）中的石墨發(fā)熱體頂面設(shè)有與陶瓷舟底部相配合的凹槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨組合蒸發(fā)舟的制作方法，其特征在于：步驟（3）中的粘膠按重量配比為50%~80%的酚醛樹脂和20%~50%的調(diào)和輔料，所述調(diào)和輔料是高純鱗片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一種或多種的組合。