[發明專利]硬質基板層疊體的加工方法及緊固夾具

在審

• 申請號: 201310080260.X
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN104045240A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 江田幸雄;武間淳一郎;栗村啟之;伊林敏成
• 申請（專利權）人: 電氣化學工業株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;H01L21/02;H01L21/687
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 苗堃;陳劍華

技術領域

本發明涉及一種硬質基板層疊體的加工方法及緊固夾具。

背景技術

在電視機、筆記本電腦、汽車導航、臺式計算機、手機、電子記事本以及PDA（掌上電腦，Personal?Digital?Assistant）之類的各種電子設備的顯示裝置中，使用液晶顯示器（LCD）、有機EL顯示器（OELD）、電致發光顯示器（ELD）、場發射顯示器（FED）以及等離子體顯示器（PDP）等顯示元件。并且，為了保護顯示元件，通常與顯示元件對置地設置用于保護的平板玻璃制品。

這樣的平板玻璃制品是將平板玻璃加工成適于各顯示裝置的大小和形狀的制品，但為了應對市場所要求的價格水平，需要以良好的生產效率進行制作。

因此，日本特開2009-256125號公報（專利文獻1）中提出了提高平板玻璃制品的生產效率的方法。具體而言，提出了一種平板玻璃的加工方法，其特征在于，堆疊多片原料平板玻璃（1），并且通過介于各原料平板玻璃（1）間的能剝離的固定材料（2）將各原料平板玻璃（1）一體地固定而形成原料玻璃塊（A），將該原料玻璃塊（A）在面方向分割而形成小面積的分割玻璃塊（B），對該分割玻璃塊（B）的至少外周進行加工而形成成為平面制品形狀的制品玻璃塊（C），對該制品玻璃塊（C）進行端面加工后，將該制品玻璃塊（C）各個分離（權利要求1）。并記載了如下內容：由此，在堆疊多片原料平板玻璃的狀態下，進行了分割、外形加工以及端面加工，因此能夠以較少工序得到多片平板玻璃制品，生產率高（說明書的[0007]段）。

如專利文獻1中記載的被分割的玻璃基板層疊體，作為外形加工后的端面加工，有時進行蝕刻。作為利用蝕刻對層疊體進行處理的技術，例如，專利文獻2中記載了如下內容：利用蠟粘貼適當片數的進行了倒角磨削的晶片，將從各晶片間溢出的蠟利用三氯乙烯清洗來除去的工序；以及通過將批量晶片（wafer?bulk）浸漬在蝕刻劑中，邊使其旋轉邊僅蝕刻晶片的外周部，從而將晶片的倒角磨削損傷層除去的晶片的倒角磨削損傷層的除去方法（權利要求1等）。還記載了如下內容：據此，能夠在不使晶片的厚度產生不均的情況下僅將倒角磨削部的損傷層充分地蝕刻除去（說明書第2頁左上欄等）。

另外，專利文獻3中記載了一種蝕刻夾具，其特征在于，作為此時使用的蝕刻夾具，由支承夾具和壓緊夾具構成，所述支承夾具使具有開口部的2個基板的非蝕刻面相對地支承，所述壓緊夾具從分別具有比上述基板小的開口部且被上述支承夾具支承的兩基板的蝕刻面側，分別隔著嵌有槽的O型環對該基板進行按壓并固定；利用上述支承夾具和上述2個基板的非蝕刻面形成對蝕刻液氣密的空間，浸漬于蝕刻液時，防止蝕刻液附著于該非蝕刻面（權利要求1等）。還記載了如下內容：據此，能夠提供一種蝕刻夾具，即使在填裝多個基板而對多片基板同時進行處理時也能夠防止設備的大型化，抑制蝕刻液使用量（說明書的[0035]段等）。

專利文獻1：日本特開2009-256125號公報

專利文獻2：日本特開昭62-132324號公報

專利文獻3：日本特開2001-358115號公報

發明內容

然而，各種電子設備的顯示裝置中使用的平板玻璃制品大多在玻璃基板的端部區域形成有布線用等的金屬圖案、印刷，蝕刻時，蝕刻液進入構成層疊體的基板間、或基板內的空隙，可能使基板剝離、或使金屬圖案、印刷劣化。

針對此，在專利文獻2中，如專利文獻2的圖3和圖4所示，將晶片壓板4配置于層疊后的晶片的兩表面并對晶片進行按壓且使其旋轉。然而，在專利文獻2中，由于沒有小心地按壓至晶片的兩表面整體、特別是端部來進行固定，所以蝕刻液可能從層疊體側面浸入。

另外，在專利文獻3中，作為蝕刻時固定基板的夾具，使用專利文獻3的圖2中記載的O型環，從基板的兩蝕刻面側隔著該O型環進行按壓，固定基板（說明書的[0012]段等）。然而，由于專利文獻3中也是使基板的按壓隔著O型環來進行，所以無法按壓晶片的兩表面整體地進行固定，蝕刻液可能從層疊體側面浸入。

因此，本發明的課題在于提供一種方法，其良好地抑制利用蝕刻進行玻璃基板等硬質基板層疊體的外形加工時由蝕刻液引起的表面層的侵蝕、且高效地加工玻璃基板等硬質基板層疊體。另外，本發明的另一課題在于提供用于該加工方法的蝕刻夾具。

本發明人等為了解決上述課題而進行了深入研究，發現能夠提供一種方法，其在進行層疊體的端面加工的蝕刻工序中，通過利用緊固夾具將層疊體的兩表面的整面在厚度方向按壓地固定，從而良好地抑制由蝕刻液引起的表面層的侵蝕、且高效地加工玻璃基板等硬質基板層疊體。