[發明專利]硬質基板層疊體的加工方法及緊固夾具

在審

• 申請號: 201310080260.X
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN104045240A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 江田幸雄;武間淳一郎;栗村啟之;伊林敏成
• 申請（專利權）人: 電氣化學工業株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;H01L21/02;H01L21/687
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 苗堃;陳劍華

1.一種硬質基板層疊體的加工方法，其特征在于，包括以下工序：

準備硬質基板層疊體的工序，所述硬質基板層疊體是將2片以上的硬質基板彼此用粘接劑貼合，所述硬質基板的至少1片在基板表面具備選自金屬層、樹脂層、二氧化硅層、有機硅酸鹽層以及透明電極層中的任1種或2種以上，且所述硬質基板層疊體進行了規定的倒角；和

將所述進行了倒角的硬質基板層疊體在用緊固夾具固定的狀態下浸漬于蝕刻液中進行蝕刻的工序，所述緊固夾具將所述層疊體的所述兩表面的整面在厚度方向進行按壓。

2.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，所述緊固夾具具備將所述層疊體的所述兩表面的整面在厚度方向進行按壓的2片板狀部、固定所述2片板狀部的多個螺栓部和螺母部。

3.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，所述緊固夾具由對所述蝕刻液具有耐腐蝕性的材料形成。

4.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，在所述蝕刻工序中，用所述緊固夾具按壓所述層疊體時的螺母的扭緊力矩為10～40N·m。

5.根據權利要求2所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，所述板狀部的面積不小于所述層疊體表面的面積。

6.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，在所述將2片以上的硬質基板彼此用粘接劑貼合而得的硬質基板層疊體的準備工序中，所述硬質基板層疊體是將2片以上的硬質基板彼此用粘接劑貼合后，通過在厚度方向切斷、分割來形成的。

7.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，在所述蝕刻工序中，蝕刻液的濃度為30質量%以上，蝕刻時間為20～120秒。

8.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，在所述蝕刻工序中，蝕刻液的濃度小于30質量%，蝕刻時間超過2分鐘且為40分鐘以下。

9.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，所述粘接劑含有（A）多官能（甲基）丙烯酸酯、（B）單官能（甲基）丙烯酸酯以及（C）光聚合引發劑。

10.根據權利要求1所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，所述粘接劑含有（A）多官能（甲基）丙烯酸酯、（B）單官能（甲基）丙烯酸酯、（C）光聚合引發劑、（F）有機過氧化物以及（G）分解促進劑。

11.一種緊固夾具，其在將2片以上的硬質基板彼此用粘接劑貼合而得的硬質基板層疊體的蝕刻工序中用于固定所述層疊體，

具備將所述層疊體的所述兩表面的整面在厚度方向進行按壓的2片板狀部、固定所述2片板狀部的多個螺栓部和螺母部。

12.根據權利要求11所述的緊固夾具，其中，由對所述蝕刻工序中使用的蝕刻液具有耐腐蝕性的材料形成。

13.根據權利要求11所述的緊固夾具，其中，所述板狀部的面積不小于所述層疊體表面的面積。

14.根據權利要求11所述的緊固夾具，其中，硬質基板層疊體是將設置在各硬質基板之間的粘接劑層端部的前端部分除去而成的硬質基板層疊體。

15.根據權利要求1～10中任一項所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，將設置在各硬質基板之間的粘接劑層端部的前端部分除去后進行蝕刻。

16.根據權利要求1～10中任一項所述的硬質基板層疊體的加工方法，其中，進行蝕刻的工序是在以各硬質基板在橫向層疊的方式用緊固夾具固定的狀態下浸漬在蝕刻液中進行蝕刻的工序。