[發明專利]基于圖案重復使用的寄生提取的圖案匹配

有效

• 申請號: 201310080246.X
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN103810317B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 喻秉鴻;林欣蕓;黃正儀;王中興
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,孫征

技術領域

本發明總的來說涉及半導體領域，更具體地，涉及基于圖案重復使用的寄生提取的圖案匹配。

背景技術

在諸如節點20或節點14的先進半導體技術中，RC寄生已經成為主要的影響因素。在不太先進的技術節點中，可以利用諸如器件的預表征(pre-characterization)和2.5D提取的近似方法來解決RC寄生的影響而不太損失精度。精確的RC寄生建模對于器件建模、提取和時序分析來說是必要的。可利用諸如純3D提取的更精確的方法，但是對大規模設計的提取工具產生固有的性能限制。

發明內容

根據本發明的一個方面，提供了一種利用圖案匹配的RC提取的方法，包括：通過布局對原理圖(LVS)工具驗證原理圖與布局的一致性；通過圖案匹配工具分析布局以將布局劃分為多個圖案，各個圖案都包括包含部分器件、器件或多個器件的一個或多個形狀以及它們周圍的環境；以及確定多個圖案中的第一相應圖案不具有存儲在被圖案匹配工具參考的圖案數據庫中的對應第一參考圖案；以及對第一相應圖案執行提取以獲得相關聯的第一提取參數。

優選地，該方法還包括：在圖案數據庫中分別將第一相應圖案和相關聯的第一提取參數存儲為第一參考圖案和第一參考提取參數來用于重復使用。

優選地，該方法還包括確定多個圖案中的第二相應圖案具有存儲在圖案數據庫中的對應第二參考圖案和相關聯的第二參考提取參數；以及對第二相應圖案應用第二參考提取參數。

優選地，沒有預表征多個圖案中的圖案，使得所有圖案都被分配提取參數。

優選地，確定多個圖案中的相應圖案是否具有存儲在圖案數據庫中的對應參考圖案還包括旋轉和翻轉相應圖案。

優選地，第一提取參數和第二提取參數包括相應圖案的邊界框內的三維電容。

優選地，該方法還包括：識別第一相應圖案的一個或多個第一縫合節點；識別第二相應圖案的一個或多個第二縫合節點，將第一縫合腳插入到每個對應的第一縫合節點；以及將第二縫合腳插入到每個對應的第二縫合節點。

優選地，該方法還包括：在縫合腳插入之后，確定布局的子集內剩余的提取參數不包括第一相應圖案或第二相應圖案。

優選地，剩余的提取參數包括：第一相應圖案的第一邊界框與包括布局的子集的周圍形狀之間的2.5維電容參數；第二相應圖案的第二邊界框與包括布局的子集的周圍形狀之間的2.5維電容參數；以及用于布局的電阻參數。

優選地，該方法還包括：為來自包括第一縫合節點和第二縫合節點的縫合節點集合的每個對應的縫合節點限定對應的縫合腳。

優選地，第一提取參數、第二提取參數以及剩余的提取參數還分別包括第一相應圖案的第一提取網表、第二相應圖案的第二提取網表以及布局的子集的第三提取網表。

優選地，該方法還包括：通過在第一縫合節點、第二縫合節點以及布局的子集的所有交互組合之間形成連接，將第一提取網表、第二提取網表以及第三提取網表結合為布局的組合網表和相關聯的原理圖。

根據本發明的另一方面，提供了一種限定布局的圖案的方法，包括：限定包括具有器件、器件子集和多邊形的多邊形集合的一個或多個主要形狀的集合；為所述一個或多個主要形狀的集合限定包括限定主要形狀與其交互的布局的設計等級的子集的背景；限定包括關于一個或多個主要形狀的厚度和背景的信息的形狀參考文件；以及限定關于一個或多個主要形狀的集合在限定圖案的邊界的背景內的位置。

優選地，限定背景還包括結合在預定閾值之上影響圖案的電容參數的主要形狀。

優選地，結合在預定閾值之上影響圖案的電容參數的主要形狀還包括：通過結合設計規則限定具有背景的主要形狀的耦合電容的范圍；以及包括用于兩個主要形狀之間的背景形狀的三維電容屏蔽效果。

優選地，該方法還包括：減少行程長度小于預定閾值的耦合電容范圍內的形狀。

根據本發明的又一方面，提供了一種圖案和提取存儲系統，包括：寄生提取工具，包括被配置為將設計劃分為多個圖案的圖案匹配工具，其中各個圖案都包括具有部分器件、器件或多個器件的一個或多個形狀以及它們周圍的環境；以及圖案數據庫，被圖案匹配工具參考，并且被配置為存儲作為參考圖案的相應圖案和相關聯的提取參數。

優選地，圖案數據庫被配置為如果在第二設計中觀察到相同圖案則檢索參考圖案，并且應用相同圖案的提取參數而不對相同圖案進行任何寄生提取。

優選地，圖案和提取存儲系統還包括連接圖案數據庫的第一應用編程接口(API)，第一API利用來自寄生提取工具的給定查詢為多個設計檢索節點和電容參數。