[發(fā)明專(zhuān)利]阻氣基板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310077893.5
• 申請(qǐng)日: 2013-03-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103579256B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹立雄;林懷正;王志誠(chéng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 元太科技工業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B32B17/06
• 分類(lèi)號(hào): B32B17/06;H01L27/12;H01J11/34;H01J17/16;G02F1/136
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種阻氣基板，特別是有關(guān)于一種良好阻氣能力的阻氣基板。

背景技術(shù)

顯示器是否具備可撓性，取決于其所使用的基板材質(zhì)。當(dāng)顯示器所使用的基板為硬質(zhì)基板（rigid?substrate）時(shí)，例如玻璃基板，顯示器不具有可撓性。反之，顯示器所使用的基板為可撓性基板（flexible?substrate）時(shí)，例如塑料基板，顯示器即具有良好的可撓性。

可撓性基板相較于一般硬質(zhì)基板的優(yōu)點(diǎn)為便宜、透明、易加工、符合安全性、適合所有顯示介質(zhì)并適合Roll-to-Roll工藝，但其缺點(diǎn)為不耐高溫、阻水阻氧氣性差、耐化學(xué)藥品性差及熱膨脹系數(shù)大。典型的可撓性基板對(duì)水的穿透速率為100-10^-1g/m²/day（25°C），其因無(wú)法完全阻隔水氣及氧氣的穿透，進(jìn)而加速基板內(nèi)的元件老化，導(dǎo)致所制成的元件壽命減短，無(wú)法符合商業(yè)上的需求。因此，為了阻隔水氧，在可撓性基板和無(wú)機(jī)導(dǎo)電層之間涂覆致密的特殊材料，以防止水氧的滲透及擴(kuò)散，此致密阻隔材料的選取需使其在涂覆過(guò)程中能無(wú)缺陷地（defect-free）均勻成膜、不會(huì)產(chǎn)生針孔（pinholes）、高透光性及避免對(duì)可見(jiàn)光的吸收，并以單層或多層堆疊的方式來(lái)達(dá)成可撓性基板對(duì)于阻氣的需求。

目前做在可撓性基板上的柔軟阻氣膜包括有機(jī)膜與無(wú)機(jī)膜，無(wú)機(jī)膜例如金屬氧化物（metal?oxide）、金屬氮化物（metal?nitride）、金屬氮氧化物（metal?oxynitride）等，其中無(wú)機(jī)膜的阻氣性較有機(jī)膜佳，而有機(jī)膜可以保持整體阻氣層的柔軟度。然而，若為了增加阻隔水氧的特性而增加無(wú)機(jī)膜的厚度，過(guò)厚的無(wú)機(jī)膜容易于撓曲時(shí)出現(xiàn)裂縫（crack），因此如何避免因應(yīng)力集中所造成阻氣膜失效的問(wèn)題就相形重要。

由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的可撓性基板在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的阻氣基板，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的可撓性基板存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的阻氣基板,所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其具有良好的阻氣能力，非常適于實(shí)用。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種阻氣基板，其中包括：可撓性基材，具有上表面；至少第一無(wú)機(jī)阻氣層，配置于該可撓性基材上，且覆蓋該上表面；以及至少第二無(wú)機(jī)阻氣層，配置于該第一無(wú)機(jī)阻氣層上，且覆蓋該第一無(wú)機(jī)阻氣層，其中該第二無(wú)機(jī)阻氣層的水氧穿透速率低于該第一無(wú)機(jī)阻氣層的水氧穿透速率。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。

前述的阻氣基板，其中所述的可撓性基材包括塑料基材或薄化玻璃基材。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的材質(zhì)包括氮化硅或氧化硅。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的材質(zhì)與該第二無(wú)機(jī)阻氣層的材質(zhì)相同。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的厚度大于該第二無(wú)機(jī)阻氣層的厚度。

前述的阻氣基板，其中所述的第二無(wú)機(jī)阻氣層的致密度高于該第一無(wú)機(jī)阻氣層的致密度。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的應(yīng)力值小于該第二無(wú)機(jī)阻氣層的應(yīng)力值。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的應(yīng)力值介于-100MPa至200MPa之間。

前述的阻氣基板，其中所述的第二無(wú)機(jī)阻氣層的應(yīng)力值介于-300MPa至-700MPa之間。

前述的阻氣基板，其中所述的第一無(wú)機(jī)阻氣層的水氧穿透速率介于0.1g/m²/day至1g/m²/day之間。

前述的阻氣基板，其中所述的第二無(wú)機(jī)阻氣層的水氧穿透速率介于0.1g/m²/day至0.01g/m²/day之間。

前述的阻氣基板，其特征在于更包括：黏著層，配置于該第二無(wú)機(jī)阻氣層上，且覆蓋該第二無(wú)機(jī)阻氣層。

前述的阻氣基板，其特征在于至少第一無(wú)機(jī)阻氣層為多個(gè)第一無(wú)機(jī)阻氣層，而所述第一無(wú)機(jī)阻氣層與該第二無(wú)機(jī)阻氣層交替堆疊于該可撓性基材上。