[發明專利]阻氣基板有效
| 申請號： | 201310077893.5 | 申請日： | 2013-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN103579256B | 公開（公告）日： | 2017-03-01 |
| 發明（設計）人： | 詹立雄;林懷正;王志誠 | 申請（專利權）人： | 元太科技工業股份有限公司 |
| 主分類號： | B32B17/06 | 分類號： | B32B17/06;H01L27/12;H01J11/34;H01J17/16;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司11019 | 代理人： | 壽寧,張華輝 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 阻氣基板 | ||
1.一種阻氣基板，其特征在于包括：
可撓性基材，具有上表面；
至少第一無機阻氣層，配置于該可撓性基材上，且覆蓋該上表面；以及
至少第二無機阻氣層，配置于該第一無機阻氣層上，且覆蓋該第一無機阻氣層，其中該第二無機阻氣層的水氧穿透速率低于該第一無機阻氣層的水氧穿透速率。
2.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的可撓性基材包括塑料基材或薄化玻璃基材。
3.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的材質包括氮化硅或氧化硅。
4.如權利要求3所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的材質與該第二無機阻氣層的材質相同。
5.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的厚度大于該第二無機阻氣層的厚度。
6.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第二無機阻氣層的致密度高于該第一無機阻氣層的致密度。
7.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的應力值小于該第二無機阻氣層的應力值。
8.如權利要求7所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的應力值介于-100MPa至200MPa之間。
9.如權利要求7所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第二無機阻氣層的應力值介于-300MPa至-700MPa之間。
10.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第一無機阻氣層的水氧穿透速率介于0.1g/m2/day至1g/m2/day之間。
11.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于其中所述的第二無機阻氣層的水氧穿透速率介于0.1g/m2/day至0.01g/m2/day之間。
12.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于更包括：
黏著層，配置于該第二無機阻氣層上，且覆蓋該第二無機阻氣層。
13.如權利要求1所述的阻氣基板，其特征在于至少第一無機阻氣層為多個第一無機阻氣層，而所述第一無機阻氣層與該第二無機阻氣層交替堆疊于該可撓性基材上。
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