[發(fā)明專利]晶體生長中的高純HE的回收純化和重復使用裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310073142.6 | 申請日： | 2013-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN103204483A | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 季泳;張龔磊 | 申請（專利權(quán)）人： | 貴陽嘉瑜光電科技咨詢中心 |
| 主分類號： | C01B23/00 | 分類號： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷慶紅 |
| 地址： | 550004 貴州省貴*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶體生長 中的 高純 he 回收 純化 重復使用 裝置 方法 | ||
1.晶體生長中的高純HE的回收純化和重復使用裝置，其特征在于：它包括氣體增壓泵（1）、第一氣體儲罐（2）、油氣過濾器（3）、分子篩（4）、第二氣體儲罐（5）、超低溫吸附冷泵（6）、回熱器（7）、氣體檢測儀（8）、第三氣體儲罐（9）以及PLC控制器（10），其中，氣體增壓泵（1）的進氣端通過通氣控制閥接到晶體生產(chǎn)爐（11）的機械泵出氣口上，第三氣體儲罐（9）的出氣端連接到晶體生產(chǎn)爐（11）的生產(chǎn)用氣接口上，氣體增壓泵（1）的出氣端與第三氣體儲罐（9）的進氣端之間連接依次通過氣路連通的第一氣體儲罐（2）、油氣過濾器（3）、分子篩（4）、第二氣體儲罐（5）、超低溫吸附冷泵（6）、回熱器（7）以及氣體檢測儀（8），其中，氣體增壓泵（1）、第一氣體儲罐（2）、油氣過濾器（3）、第二氣體儲罐（5）、超低溫吸附冷泵（6）、回熱器（7）以及氣體檢測儀（8）的進氣端均安裝有氣體控制閥（12），氣體檢測儀（8）上設(shè)置有合格氣體出氣端（81）和不合格氣體出氣端（82），合格氣體出氣端（81）和第三氣體儲罐（9）的進氣端相連，不合格氣體出氣端（82）和氣體增壓泵（1）相連，PLC控制器（10）的信號輸入端和晶體生產(chǎn)爐（11）相連，PLC控制器（10）上設(shè)置有多個信號輸出端，PLC控制器（10）的信號輸出端分別和氣體增壓泵（1）、第一氣體儲罐（2）、油氣過濾器（3）、第二氣體儲罐（5）、超低溫吸附冷泵（6）、回熱器（7）以及氣體檢測儀（8）進氣端上的氣體控制閥（12）相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長中的高純HE的回收純化和重復使用裝置，其特征在于：所述的第三氣體儲罐（9）的出氣端還設(shè)置有充氣閥組（13）。
3.晶體生長中的高純HE的回收純化和重復使用方法，其特征在于：它包括以下步驟：
（1）、增壓純化：PLC控制器（10）讀取晶體生產(chǎn)爐（11）的信號，控制氣體增壓泵（1）上的氣動控制閥的開啟，增壓泵（1）開啟，氦氣開始流入；
（2）、PLC控制器（10）控制第一氣體儲罐（2）上的氣動控制閥開啟，對第一氣體儲罐（2）進行充氣；
（3）、除雜：當?shù)谝粴怏w儲罐（2）內(nèi)的氣壓不低于0.5MPa時，PLC控制器（10）控制油氣過濾器（3）和第二氣體儲罐（5）上的氣動控制閥開啟，油氣過濾器（3）濾去氣體中的機械泵油和水氣，分子篩（4）除去氣體的CO2和碳氫化合物，對第二氣體儲罐（5）進行充氣；
（4）、當?shù)诙怏w儲罐（5）內(nèi)的壓力不低于0.2MPa且低溫吸附溫度達到30k后，PLC控制器（10）控制超低溫吸附冷泵（6）、回熱器（7）以及氣體檢測儀（8）上的氣動控制閥打開，并利用氣動控制閥進行流量控制，產(chǎn)出的高純HE利用氣體檢測儀（8）進行檢測，如果氣體含量中N2和O2的含量不超過1PPM，HE合格送入第三氣體儲罐（9），否則送入氣體增壓泵（1）進行重新增壓純化。
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