[發明專利]高頻加熱裝置

有效

• 申請號: 201310071420.4
• 申請日: 2013-03-06
• 公開（公告）號: CN103304131A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 李會官;尹敬敏;曹瑞英;權潤瑛;南真守;樸敬旭;崔宰榮
• 申請（專利權）人: 三星康寧精密素材株式會社
• 主分類號: C03B27/012
• 分類號: C03B27/012
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 于未茗;宋志強

相關申請的交叉引用?

本申請要求2012年3月6日遞交的韓國專利申請No.10-2012-0022639的優先權，通過該引用為所有目的將該申請的全部內容合并于此。?

技術領域

本發明涉及高頻加熱裝置，更具體地涉及通過采用高頻波對基板進行加熱的高頻加熱裝置。?

背景技術

玻璃材料在各種工業領域中的使用快速增多，具體是用作光伏電池、諸如薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）、等離子體顯示面板（PDP）或有機電致發光（EL）設備之類的平板顯示器以及各種移動電子設備等的覆蓋層。相應地，玻璃材料需要具有輕的重量和薄的形貌。?

然而，玻璃材料向輕且薄的形貌發展的趨勢由于其高脆性特征而導致了易碎問題。因此，正在研究各種鋼化方法來改善玻璃的耐久性。?

相關領域的玻璃鋼化技術包括在玻璃表面與水溶液（熔鹽）之間使用離子交換的化學增強技術以及包括對玻璃進行的熱處理的熱增強技術。?

化學增強技術具有在玻璃表面與水溶液之間的離子交換所需的處理時間、玻璃的尺寸和水溶液的回收利用（污染和濃度控制）等方面可用性低的缺點。?

比較而言，熱增強技術是通過在熱臥式爐中移動平板玻璃（plate?glass）時升高平板玻璃的溫度并對其進行淬火來增強玻璃。由于使用高頻波進行加熱具有熱處理效果因為能夠大量加熱且快速加熱而得以加強的優點，因此在工業中采用該技術的各種方法正在使用中。?

目前，由于均勻加熱等的問題，批量生產工廠中采用的高頻加熱技術通常在低溫范圍（大約200℃）內使用。?

另外，在通過采用相關領域的高頻技術對大尺寸平板玻璃進行熱處理的情況下，使用單個高頻發生器的缺點在于，難以對腔室內部的電場分布進行控制，并且溫度上?升速率低。盡管使用多個高頻發生器在一定程度上增大了溫度上升速率，但是由于高頻發生器之間的干擾而產生的電場集中導致了玻璃的局部加熱以及加熱效率的降低，這成為問題。?

圖1A和圖1B是相關領域的方法中在使用單個高頻發生器對一片玻璃進行加熱之后測量的電場分布分析和溫度分布分析的圖片。如圖1A和圖1B所示，可以理解，當使用單個高頻發生器10對玻璃進行加熱時，在玻璃中產生不均勻的電場分布，從而形成熱斑區域20。?

圖2A和圖2B是相關領域的方法中在使用多個高頻發生器對一片玻璃進行加熱之后測量的電場分布分析和溫度分布分析的圖片。在圖2A中，杏黃色區域表示沒有電場形成的部分。在圖2B中，藍色區域表示低溫，并且紅色區域表示高溫。可以理解，由于在熱處理后的平板玻璃的角部區域中沒有形成電場，因此這些區域沒有被加熱。另外，由于電場的干擾，在平板玻璃的局部區域中形成了熱斑。?

背景技術部分中公開的信息僅用于加強對本發明背景的理解，不應被當作承認或以任何形式暗示這些信息形成對本領域技術人員來說已知的現有技術。?

發明內容

本發明的各個方面提供一種能夠防止基板被局部加熱并且防止多行高頻發生器所產生的高頻彼此干擾的高頻加熱裝置。?

在本發明的一方面中，提供了一種高頻加熱裝置，所述高頻加熱裝置包括產生高頻以對基板進行加熱的高頻發生器以及向所述基板反射所述高頻發生器所產生的高頻的反射器。?

在示例性實施例中，所述高頻發生器可以是多個高頻發生器，并且所述反射器可以將所述多個高頻發生器分隔成各自包括所述多個高頻發生器中的至少一個高頻發生器的組。?

所述反射器可以包括在所述多個高頻發生器中彼此隔開的高頻發生器之間形成間隔物的第一反射部。?

所述反射器可以包括布置在所述高頻發生器的左側和/或右側的第二反射部。?

所述反射器可以包括布置在所述基板的上方和/或下方的第三反射部，所述第三反射部的主平面面對所述基板的主平面。?

所述反射器可以具有多個孔。?

根據本發明的實施例，由于反射器反射高頻波，因此在基板的整個區域上形成均勻的電場，并且可以對基板的整個區域進行均勻加熱。?

另外，在具有多個高頻發生器的高頻加熱裝置中，可以防止各高頻發生器所產生的高頻波彼此干擾，從而防止電場集中，并且防止基板被局部加熱。?

此外，可以增大基板的溫度上升速率，并改善高頻加熱裝置的能效。?

本發明的方法和設備具有其它特征和優點，這些特征的優點從合并于此并且在以下具體實施方式中一起用于解釋本發明特定原理的附圖中變得明顯，或者更詳細地記載在這些附圖中。?

附圖說明