[發明專利]聲界面波裝置的制造方法在審
| 申請號： | 201310070546.X | 申請日： | 2005-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN103187944A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 門田道雄;神藤始 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 薛凱 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 界面 裝置 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲界面波裝置的制造方法，該聲界面波裝置按順序疊層第1～第3媒質、并且第1媒質與第2媒質間的界面上設有電極，該聲界面波裝置的制造方法，包括：
準備疊層有第1媒質與第2媒質、并在第1、第2媒質的界面上設有電極的疊層體的工序；
在上述疊層體階段，通過第2媒質的膜厚調整頻率、或聲表面波的聲速的調整工序；以及，
上述調整工序后，形成聲界面波的聲速及/或材料與第2媒質不同的第3媒質的工序。
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