[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310069347.7
• 申請日: 2013-03-05
• 公開（公告）號: CN103206101A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊政諭
• 申請（專利權(quán)）人: 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: E04H5/02
• 分類號: E04H5/02;E04H1/12
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

1.?一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間，所述大型潔凈空間內(nèi)具有中央走道(1)和至少一條生產(chǎn)走道(2)；

所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間(4)、潔凈空間(5)和循環(huán)空間(6)，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(7)，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板(10)和混凝土板(11)；其特征在于：

所述生產(chǎn)走道的四周圍設(shè)有隔板(8)，使其所在的至少一部分架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)；所述隔板底部與天花板之間的距離至少為60cm，隔板底部與高架地板之間的距離至少為2m；

所述潔凈微環(huán)境的頂部設(shè)有上密封板(13)，其底部設(shè)有下密封板(12)，所述下密封板的寬度小于上密封板的寬度；

所述生產(chǎn)走道的天花板下設(shè)有至少一個通風(fēng)管(20)，構(gòu)成潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)的回風(fēng)通道(18)；連接管的頂端設(shè)于天花板上并與所述架構(gòu)空間連通，其尾端位于潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)的潔凈空間內(nèi)；

所述潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有化學(xué)過濾器(16)；

所述潔凈微環(huán)境的頂部設(shè)有第二新風(fēng)輸送系統(tǒng)(17)，使所述獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中的氣壓大于其外部的大型潔凈空間中的氣壓。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述下密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述化學(xué)過濾器設(shè)于天花板上的風(fēng)機濾器單元(9)的入風(fēng)口處。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述中央走道的四周圍設(shè)有隔板，使其所在的至少一部分架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)；

所述中央走道的內(nèi)圍設(shè)有第二隔板，第二隔板設(shè)于所述隔板的內(nèi)側(cè)，隔板和第二隔板之間的天花板鏤空，使隔板和第二隔板之間的架構(gòu)空間和潔凈空間構(gòu)成回風(fēng)通道。

5.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述中央走道所在的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)的下密封板上設(shè)有氣體調(diào)節(jié)風(fēng)門。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述隔板底部與高架地板之間的距離為2~4m。