[發明專利]涂布裝置

有效

• 申請號: 201310066873.8
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN103301998B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 森俊裕;濱川健史
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/00;B05C13/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

技術領域

本發明涉及將涂布液涂布于被輸送的基板上的涂布裝置。

背景技術

在液晶顯示器等平板顯示器、太陽能電池板等上使用形成有像素、電路圖案等的基板，這樣的基板是通過利用例如涂布抗蝕劑液(涂布液)而進行的光刻技術來制造。

另外，作為將涂布液涂布在基板的裝置，已公開有如下的涂布裝置，該裝置包括：平臺，用于將基板水平固定；噴嘴，在寬度方向上在內部形成有長長的細縫口；根據該涂布裝置，通過對平臺上的基板使噴嘴向水平方向移動的同時從細縫口排出涂布液，由此，能夠在基板表面上形成由涂布液形成的涂布膜。另外，從細縫口排出涂布液時，基板和噴嘴(細縫口)之間處于設置有高度方向的間隙的狀態，因此，為了調節該間隙的值，噴嘴按照可升降的方式構成。

為了通過這樣的涂布裝置進行涂布作業，并提高基板上形成的涂布膜的品質(使膜厚均勻)，需要將噴嘴與基板(水平面)呈平行，且使噴嘴和基板之間的間隙在寬度方向上恒定。為此，在平臺的端部與噴嘴的寬度方向兩端部相對應的位置上分別設置傳感器。并且，使噴嘴向水平方向移動至這些傳感器的上方，通過這些傳感器求出噴嘴的寬度方向兩端部的高度之差，并根據該高度差通過升降噴嘴來調節其傾斜等姿勢。由此，能夠使噴嘴處于水平狀態，且使噴嘴和基板之間的間隙恒定。

如此，釆取噴嘴在平臺上向水平方向移動的方式的涂布裝置，不需要設置其它裝置，比較容易設置用于調節噴嘴姿勢的傳感器，但釆取噴嘴只是上下升降且基板向水平方向被輸送的方式的涂布裝置時，無法直接釆用上述傳感器的結構。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1特開2005-244155號公報(參照圖2)

發明內容

因此，釆取將基板向水平方向輸送的方式的涂布裝置時，如圖6所示，可以想到下述結構：設置從支柱90向噴嘴91的寬度方向的端部92延伸的臂93，在該臂93的前端安裝傳感器94，其中，支柱90形成為使安裝有噴嘴91的升降體95升降的導向件。但是，此時存在如下的問題，臂93長，并且，用于清掃(初始化)噴嘴91的單元(未圖示)向噴嘴91移動而接近于噴嘴91時，該單元的一部分與臂93發生干涉，因此為了避免發生這樣的情況，需要對臂93或者單元的形狀上做講究，從而結構變得復雜。

如果對臂93或者單元的形狀做講究，則能夠將傳感器94設置在噴嘴91的寬度方向的端部92的正下方，但是為了確保基于傳感器94的高的測量精度，臂93就必須具備高剛性。但是，如果為了提高臂93的剛性而使其截面積變大，則臂93和單元的干渉就變得進一步嚴重。與之相反，為了防止單元和臂93發生干涉而使臂93變細，則臂93的剛性下降，從而對傳感器94的支撐變得不穩定而難以進行正確的測量。

因此，本發明的目的是，在對被輸送的基板進行涂布的涂布裝置中，通過簡單的結構來提高用傳感器測量的噴嘴的寬度方向兩端的高度位置的測量精度。

(1)本發明的涂布裝置，其特征在于，包括：輸送機構部，將基板向水平方向輸送；涂布機構部，包括噴嘴和升降驅動部，相對于所述基板從所述噴嘴排出涂布液，其中，所述噴嘴在與所述輸送方向呈垂直的水平的寬度方向上長長地設置，且相對于被輸送的基板具有高度方向的間隙而相對應，所述升降驅動部使所述噴嘴在高度方向上升降；傳感器，為了調節相對于水平面的所述噴嘴的姿勢，測量所述噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置，其中，所述輸送機構部包括：軌道，設置在被輸送的基板的寬度方向兩側上，并向所述輸送方向延伸；基座部件，沿著所述軌道移動；支撐部，被搭載于所述基座部件上，當輸送所述基板時，支撐所述基板的寬度方向兩端部，所述傳感器與所述支撐部一同搭載于所述基座部件上。

根據本發明，為了將基板通過輸送機構部向水平的輸送方向輸送，軌道相對于水平面的尺寸精度高，并且，搭載用于支撐該基板的支撐部的基座部件也相對于水平面的尺寸精度高，且以保持水平的狀態下高精度地沿軌道移動。因此，通過傳感器搭載于這樣的基座部件上，由此相對于水平面的傳感器的安裝位置也精度高，并且通過該傳感器能夠高精度地測量噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置。另外，支撐部是在輸送基板時支撐該基板的寬度方向兩端部的裝置，因此支撐部以及搭載該支撐部的基座部件位于與基板的寬度方向兩端部相對應的位置上。另外，通過在位于這樣的位置上的基座部件上搭載傳感器，由此，不需要如現有技術的長臂，能夠在與噴嘴的寬度方向兩端部相對應的位置上設置傳感器，從而設置傳感器的結構變得簡單。