[發明專利]涂布裝置

有效

• 申請號: 201310066873.8
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN103301998B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 森俊裕;濱川健史
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/00;B05C13/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

1.一種涂布裝置，其特征在于，包括：

輸送機構部，將基板向水平的輸送方向輸送；

涂布機構部，包括噴嘴和升降驅動部，相對于所述基板從所述噴嘴排出涂布液，其中，所述噴嘴在與所述輸送方向呈垂直的水平的寬度方向上長長地設置，且相對于被輸送的基板具有高度方向的間隙而相對應，所述升降驅動部使所述噴嘴在高度方向上升降；

傳感器，為了調節相對于水平面的所述噴嘴的姿勢，測量所述噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置，

其中，所述輸送機構部包括：

軌道，設置在被輸送的基板的寬度方向兩側上，并向所述輸送方向延伸；

基座部件，沿著所述軌道移動；

支撐部，被搭載于所述基座部件上，當輸送所述基板時，支撐所述基板的寬度方向兩端部，

所述傳感器與所述支撐部一同搭載于所述基座部件上，

所述基座部件包括相對于所述軌道的上表面使所述基座部件懸浮的懸浮機構部，通過該懸浮機構部，所述基座部件相對于所述軌道以懸浮的狀態移動，

在通過所述傳感器測量所述噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置時，在搭載于所述基座部件的所述傳感器位于所述噴嘴的正下方的狀態下，解除通過所述懸浮機構部的所述基座部件的懸浮，由此使所述基座部件坐落于所述軌道上。

2.根據權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述懸浮機構部由噴射部構成，通過所述噴射部相對于所述軌道的上表面噴射氣體來使所述基座部件懸浮。

3.根據權利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，在將所述基座部件坐落于所述軌道上時，使殘留于所述噴射部的氣體向外排放的流路連接在所述噴射部上。