[發明專利]一種鍍鈀鍍銀的雙鍍層鍵合銅絲的制造方法

無效

• 申請號: 201310065261.7
• 申請日: 2013-03-01
• 公開（公告）號: CN103219246A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 呂燕翔;居勤坤;史仁龍;萬傳友;彭芳美;周國忠
• 申請（專利權）人: 溧陽市虹翔機械制造有限公司
• 主分類號: H01L21/48
• 分類號: H01L21/48;C25D5/10;C25D7/06
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 朱戈勝

1.一種雙鍍層鍵合銅絲的制造方法，該方法以先后次序依次包括如下步驟：

（1）在高純銅中加入微量金屬元素錫、鎂和鋁，以制得銅芯；

（2）在所述銅芯的表面上電鍍金屬鈀，已形成鍍鈀導電層；

（3）在鍍鈀導電層的表面上電鍍金屬銀，以形成鍍銀導電層；

（4）對完成鍍鈀和鍍銀后的銅絲進行清洗，以形成具有鍍鈀導電層和鍍銀導電層的雙鍍層鍵合銅絲。

2.一種雙鍍層鍵合銅絲的制造方法，該方法以先后次序依次包括如下步驟：

（1）以最終制得的含有鍍鈀層和鍍銀層的雙鍍層鍵合銅絲為100重量份計，即100wt%計，將91.2~92.8wt%的純度大于99.9995％的高純銅置入熔煉爐熔化，并加入0.5wt%的錫、0.3wt%的鎂、0.2wt%的鋁，經過單晶熔煉拉伸成銅芯，銅芯的直徑大約為8mm，并且該銅芯的縱向和橫向晶粒數均為1個；?

（2）將所述銅芯進行粗拔以制得直徑大約為3-4mm的銅絲后，對所述銅絲進行退火，退火溫度大約為450-500攝氏度，退火時間大約為20-60分鐘，退火后進行水冷；

（3）電鍍純鈀導電層：在退火后銅芯表面上電鍍3.3~4.2wt％的純鈀，以形成純鈀導電層，所述純鈀的純度大于99.99%；

（4）第一次精拔：將完成步驟（3）的電鍍有純鈀導電層的銅絲，精拔成直徑大約為1-2mm的鍍鈀銅絲；

（5）第一次熱退火：對完成步驟（4）的鍍鈀銅絲進行熱退火，其中熱退火溫度大約為450-500攝氏度，時間大約為20-60分鐘；

（6）電鍍純銀導電層：在鍍鈀銅絲的表面上電鍍2~4.5wt％的純銀，以形成純銀導電層，所述純銀的純度大于99.99%；

（7）第二次精拔：將完成步驟（5）的銅絲精拔成直徑大約為15-25微米的雙鍍層鍵合銅絲；

（8）第二次熱退火：對完成步驟（6）的雙鍍層鍵合銅絲進行熱退火，其中熱退火溫度大約為450-500攝氏度，時間大約為20-60分鐘；

（9）清洗：對完成步驟（7）的雙鍍層鍵合銅絲進行表面清洗，采用酸性溶液先對其進行一次清洗，然后采用去離子水進行二次清洗；

（10）將清洗干凈的鍍銀鍵合銅絲烘干；

其中，步驟（4）中優選的直徑大小為1.5mm，步驟（5）和（8）中優選的熱退火溫度大約為480攝氏度，時間大約為30分鐘。

3.如權利要求2所述的雙鍍層鍵合銅絲，其特征在于：

所述高純銅的純度大于99.9995％，以所述雙鍍層鍵合銅絲為100重量份，即100wt%計，其中銅芯中純銅的含量為91.2~92.8wt%，微量元素總體含量為1wt%，純鈀導電層的含量為3.3~4.2wt％，純銀導電層的含量為2~4.5wt％。

4.如權利要求2-3任意之一所述的雙鍍層鍵合銅絲，其特征在于：

所述微量金屬元素的總含量為1wt%，包括0.5wt%的錫、0.3wt%的鎂以及0.2wt%的鋁。

5.如權利要求2-4任意之一所述的雙鍍層鍵合銅絲，其特征在于：

所述純鈀的純度大于99.99%，所述純銀的純度大于99.99%。