[發明專利]試驗裝置

有效

• 申請號: 201310064591.4
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103293459A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 日下崇;石田雅裕
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;H02J1/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種試驗裝置，用于對被試驗器件進行試驗，其特征在于，包括：

試驗單元，向所述被試驗器件提供規定的測試模式；

主電源，其輸出端子經由電源線與所述被試驗器件的電源端子連接，反饋控制從所述輸出端子輸出的輸出電壓，以使得與所述電源端子的電源電壓相對應的檢測值接近目標值；以及

電源控制部，當所述試驗單元向所述被試驗器件提供所述測試模式時，前饋控制所述主電源，以使得所述電源電壓接近規定的目標波形。

2.根據權利要求1所述的試驗裝置，其特征在于，

所述主電源包括：

誤差信號生成部，生成與所述檢測值和所述目標值的誤差相對應的誤差信號；以及

反饋輸出部，根據所述誤差信號，反饋控制所述輸出電壓，以使得所述誤差為零，

所述電源控制部將對應于所述目標波形的校正電壓疊加在所述目標值上。

3.根據權利要求1所述的試驗裝置，其特征在于，

所述主電源包括：

誤差信號生成部，生成與所述檢測值和所述目標值的誤差相對應的誤差信號；以及

反饋輸出部，根據所述誤差信號，反饋控制所述輸出電壓，以使得所述誤差為零，

所述電源控制部將與所述目標波形相對應的校正電壓疊加在所述檢測值上。

4.根據權利要求2或3所述的試驗裝置，其特征在于，

所述電源控制部包括：

第一波形獲取部，當所述被試驗器件響應于所述測試模式而動作時，在所述主電源中的所述目標值被固定的狀態下，獲取提供給所述被試驗器件的所述電源電壓的波形即第一波形；

目標波形獲取部，獲取所述目標波形；以及

校正電壓計算部，根據所述第一波形和所述目標波形的差值波形，計算所述校正電壓。

5.根據權利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，

所述校正電壓計算部，通過在所述差值波形上乘以規定系數K，由此生成所述校正電壓，

所述系數K是當所述校正電壓為零時的所述目標值V_REF和所述電源電壓V_DD的比V_REF/V_DD。

6.根據權利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，

所述校正電壓計算部通過在所述差值波形上乘以所述主電源的傳遞函數的反函數，由此生成所述校正電壓。

7.根據權利要求5所述的試驗裝置，其特征在于，

所述校正電壓計算部強調所述差值波形的高域成分。

8.根據權利要求6所述的試驗裝置，其特征在于，

所述校正電壓計算部強調所述差值波形的高域成分。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的試驗裝置，其特征在于，

還包括補償電路，該補償電路在所述被試驗器件響應于所述測試模式而執行某動作順序時，（i）將與所述動作順序相對應的補償電流從與所述主電源不同的路徑注入所述電源端子，和/或（ii）從由所述主電源流入所述被試驗器件的電源電流中，將補償電流引入與所述被試驗器件不同的路徑。

10.根據權利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，

還包括補償電路，該補償電路在所述被試驗器件響應于所述測試模式而執行某動作順序時，（i）將與所述動作順序相對應的補償電流從與所述主電源不同的路徑注入所述電源端子，和/或（ii）從由所述主電源流入所述被試驗器件的電源電流中，將補償電流引入與所述被試驗器件不同的路徑，

所述電源控制部還包括：

第二波形獲取部，在所述被試驗器件響應于所述測試模式而動作時，在所述主電源通過所述電源控制部進行前饋控制的狀態下，獲取提供給所述被試驗器件的所述電源電壓的波形即第二波形，

補償電流計算部，根據所述第二波形和所述目標波形的差值波形，計算所述補償電路生成的補償電流。