[發(fā)明專利]試驗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310064591.4 | 申請日： | 2013-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN103293459A | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 日下崇;石田雅裕 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社愛德萬測試 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;H02J1/02 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 試驗裝置 | ||
1.一種試驗裝置，用于對被試驗器件進(jìn)行試驗，其特征在于，包括：
試驗單元，向所述被試驗器件提供規(guī)定的測試模式；
主電源，其輸出端子經(jīng)由電源線與所述被試驗器件的電源端子連接，反饋控制從所述輸出端子輸出的輸出電壓，以使得與所述電源端子的電源電壓相對應(yīng)的檢測值接近目標(biāo)值；以及
電源控制部，當(dāng)所述試驗單元向所述被試驗器件提供所述測試模式時，前饋控制所述主電源，以使得所述電源電壓接近規(guī)定的目標(biāo)波形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的試驗裝置，其特征在于，
所述主電源包括：
誤差信號生成部，生成與所述檢測值和所述目標(biāo)值的誤差相對應(yīng)的誤差信號；以及
反饋輸出部，根據(jù)所述誤差信號，反饋控制所述輸出電壓，以使得所述誤差為零，
所述電源控制部將對應(yīng)于所述目標(biāo)波形的校正電壓疊加在所述目標(biāo)值上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的試驗裝置，其特征在于，
所述主電源包括：
誤差信號生成部，生成與所述檢測值和所述目標(biāo)值的誤差相對應(yīng)的誤差信號；以及
反饋輸出部，根據(jù)所述誤差信號，反饋控制所述輸出電壓，以使得所述誤差為零，
所述電源控制部將與所述目標(biāo)波形相對應(yīng)的校正電壓疊加在所述檢測值上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的試驗裝置，其特征在于，
所述電源控制部包括：
第一波形獲取部，當(dāng)所述被試驗器件響應(yīng)于所述測試模式而動作時，在所述主電源中的所述目標(biāo)值被固定的狀態(tài)下，獲取提供給所述被試驗器件的所述電源電壓的波形即第一波形；
目標(biāo)波形獲取部，獲取所述目標(biāo)波形；以及
校正電壓計算部，根據(jù)所述第一波形和所述目標(biāo)波形的差值波形，計算所述校正電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，
所述校正電壓計算部，通過在所述差值波形上乘以規(guī)定系數(shù)K，由此生成所述校正電壓，
所述系數(shù)K是當(dāng)所述校正電壓為零時的所述目標(biāo)值VREF和所述電源電壓VDD的比VREF/VDD。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，
所述校正電壓計算部通過在所述差值波形上乘以所述主電源的傳遞函數(shù)的反函數(shù)，由此生成所述校正電壓。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的試驗裝置，其特征在于，
所述校正電壓計算部強(qiáng)調(diào)所述差值波形的高域成分。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的試驗裝置，其特征在于，
所述校正電壓計算部強(qiáng)調(diào)所述差值波形的高域成分。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的試驗裝置，其特征在于，
還包括補(bǔ)償電路，該補(bǔ)償電路在所述被試驗器件響應(yīng)于所述測試模式而執(zhí)行某動作順序時，（i）將與所述動作順序相對應(yīng)的補(bǔ)償電流從與所述主電源不同的路徑注入所述電源端子，和/或（ii）從由所述主電源流入所述被試驗器件的電源電流中，將補(bǔ)償電流引入與所述被試驗器件不同的路徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的試驗裝置，其特征在于，
還包括補(bǔ)償電路，該補(bǔ)償電路在所述被試驗器件響應(yīng)于所述測試模式而執(zhí)行某動作順序時，（i）將與所述動作順序相對應(yīng)的補(bǔ)償電流從與所述主電源不同的路徑注入所述電源端子，和/或（ii）從由所述主電源流入所述被試驗器件的電源電流中，將補(bǔ)償電流引入與所述被試驗器件不同的路徑，
所述電源控制部還包括：
第二波形獲取部，在所述被試驗器件響應(yīng)于所述測試模式而動作時，在所述主電源通過所述電源控制部進(jìn)行前饋控制的狀態(tài)下，獲取提供給所述被試驗器件的所述電源電壓的波形即第二波形，
補(bǔ)償電流計算部，根據(jù)所述第二波形和所述目標(biāo)波形的差值波形，計算所述補(bǔ)償電路生成的補(bǔ)償電流。
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