[發明專利]試驗裝置

有效

• 申請號: 201310064591.4
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103293459A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 日下崇;石田雅裕
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;H02J1/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及對被試驗器件進行試驗的試驗裝置，尤其涉及其電源電路。

背景技術

在對利用CMOS（Complementary?Metal?Oxide?Semiconductor：互補型金屬氧化物半導體）技術的CPU（Central?processing?Unit：中央處理器）、DSP（Digital?Signal?Processor：數字信號處理器）、存儲器等的半導體集成電路（以下稱為DUT）進行試驗時，DUT內的觸發器、鎖存器在供給時鐘的動作中電流流動，當時鐘停止時電路成為靜態狀態，電流減少。因此，DUT的動作電流（負載電流）的總和會根據試驗內容等而時刻變動。

供給DUT功率的電源電路例如用調節器構成，在理想情況下能夠供給固定的功率而與負載電流無關。但是，在實際的電源電路中，由于具有無法忽視的輸出阻抗，另外在電源電路和DUT之間還存在無法忽視的阻抗成分，因此隨著負載變動，電源電壓會發生變動。

電源電壓的變動給DUT的試驗容限帶來嚴重影響。另外，電源電壓的變動還影響到試驗裝置內其他電路塊，例如用于生成供給至DUT的模式的模式發生器、用于控制模式的漂移定時的定時發生器的動作，使試驗精度變差。

在專利文獻2記載的技術中，除了設置向被試驗器件供給電源電壓的主要的電源之外，還設置包括通過驅動器的輸出控制接通、斷開的開關的補償電路。

圖1是表示本發明人等研討的具備補償電路的電源裝置的結構框圖。在DUT1的電源端子P1上供給電源電壓V_DD，并設置其接地端子P2。在DUT1的I/O端子P3上供給來自未圖示的試驗裝置的驅動器的測試模式S_TEST。

電源裝置8包括主電源10和電源補償電路12，在DUT1的電源端子P1上供給電源電壓V_DD。主電源10的輸出端子經由電源線與DUT1的電源端子P1連接。主電源10是數字電路和數字/模擬轉換器的組合、線性調節器、開關調節器等，接受與電源端子P1的電源電壓V_DD相對應的反饋信號，反饋控制輸出電源V_OUT，以使得電源電壓V_DD與目標電源V_REF一致。

電源補償電路12的拉出電流源12b根據控制模式S_CNT1進行開關，從與主電源10不同的路徑向DUT1的電源端子P1注入（流入）脈沖狀的補償電流I_SRC。灌入電流源12c按照控制模式S_CNT2而進行開關，將脈沖狀的補償電流補償電流I_SINK引入（沉入）與DUT1不同的路徑。

而且，與測試模式S_TEST相對應地定義電源補償電路12的補償用控制模式S_CNT1、S_CNT2，以消除按照供給至DUT1的測試模式S_TEST而產生的電源電壓V_DD的變動。在實際試驗時，通過向DUT1供給測試模式S_TEST，并且按照控制模式S_CNT1、S_CNT2而控制電源補償電路12，由此能夠固定保持電源電壓V_DD。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-205813號公報

[專利文獻2]國際公開第10/029709A1號手冊

發明內容

在實際使用DUT的環境（稱為實際動作環境）中，很少使用理想電源，現實中，從成本、電路面積的觀點出發，一般使用響應速度慢、或者輸出阻抗較大的電源。在這樣的實際動作環境中，電源電壓并不保持固定，而是相應于DUT的動作狀態發生動態變動。

為此，在對DUT進行試驗時，需要有意改變電源電壓，想要再現與DUT的實際動作環境相同的電源環境。在本說明書中稱為電源環境的仿真。即使在這樣的電源環境的仿真中，上述補償電路也是有效的。即，為了得到所希望的電源電壓波形，只要預先確定控制模式，使補償電路生成的補償電流隨著時間變化即可。

本發明人等對這樣的電源環境的仿真進行了討論，其結果是，認識到以下的課題。

圖2（a）、（b）是說明電源環境的仿真的圖。流入DUT1的電源端子的動作電流I_OP按照測試模式而在某時刻t1增加。