[發(fā)明專利]一種封裝工藝無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310061456.4 | 申請日: | 2013-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN103151278A | 公開(公告)日: | 2013-06-12 |
| 發(fā)明(設計)人: | 張童龍;沈海軍;張衛(wèi)紅 | 申請(專利權)人: | 南通富士通微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L21/607 |
| 代理公司: | 北京市惠誠律師事務所 11353 | 代理人: | 雷志剛;潘士霖 |
| 地址: | 226006 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 封裝 工藝 | ||
1.一種封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:
通過超聲熱壓焊接方式在基板金手指和/或框架端子上焊接凸點,將芯片倒裝焊接在凸點基板或凸點框架上。
2.根據(jù)權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,所述倒裝焊接為超聲熱壓焊接。
3.根據(jù)權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:
在基板金手指上設置基板焊盤,利用鍵合設備在基板焊盤上超聲焊接基板凸點;
將不導電連接膠涂覆在凸點基板正面;
再通過超聲熱壓焊接的方式將芯片倒裝焊接在凸點基板上。
4.根據(jù)權利要求3所述的封裝工藝,其特征在于,還包括:
在芯片與基板之間填充膠水。
5.根據(jù)權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:
利用鍵合設備在框架端子上超聲焊接框架凸點;
再通過超聲熱壓焊接的方式將芯片倒裝焊接在凸點框架上;
最后進行塑封。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





