[發(fā)明專利]老化測試設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310061443.7
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN103293456A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李義元;崔永培
• 申請（專利權(quán)）人: 韓商聯(lián)測股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京青松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種老化測試設(shè)備，其特征在于，包括：

至少一個測試板，具有行列形態(tài)的能夠裝載半導(dǎo)體元件的插座，并具有用于向插座施加測試信號的傳送線路組；

板收容腔室，用于收容所述至少一個測試板；

至少一個測試基板，與收容于所述板收容腔室的至少一個測試板電連接，產(chǎn)生用于測試裝載于所述至少一個測試板的半導(dǎo)體元件的測試信號；以及

基板收容腔室，用于收容所述至少一個測試基板，

所述至少一個測試板的電路中的傳送線路組中的每一個上，所述插座中的至少兩個插座被布置在一起，且具有飛躍式結(jié)構(gòu)，

所述測試基板包括：

測試單元，選擇需要測試的半導(dǎo)體元件而產(chǎn)生測試信號，并讀取從開始工作的半導(dǎo)體元件反饋的結(jié)果信號；以及

閃控信號提供單元，向所述測試單元提供閃控信號，以使所述測試單元從結(jié)果信號能夠抽樣準確的數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的老化測試設(shè)備，其特征在于，所述測試單元將關(guān)于需要測試的被選擇的半導(dǎo)體元件的位置信息提供至所述閃控信號提供單元，所述閃控信號提供單元將符合關(guān)于被選擇的半導(dǎo)體元件的位置信息的閃控信號提供至所述測試單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的老化測試設(shè)備，其特征在于，閃控信號提供單元具有記錄有關(guān)于從所述測試單元產(chǎn)生的測試信號輸出至所述測試板側(cè)之后由被選擇的半導(dǎo)體元件反饋的結(jié)果信號到達所述測試單元的時間的信息(以下，稱為“延遲信息”)和關(guān)于半導(dǎo)體元件的位置信息的存儲器，并將基于與關(guān)于由所述測試單元選擇的半導(dǎo)體元件的位置信息對應(yīng)的延遲信息的閃控信號提供至所述測試單元。