[發明專利]一種表面處理裝置

有效

• 申請號: 201310058915.3
• 申請日: 2013-02-25
• 公開（公告）號: CN104004993B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 王進東;饒曉雷;胡伯平
• 申請（專利權）人: 北京中科三環高技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 北京航忱知識產權代理事務所(普通合伙)11377
• 代理人: 陳立航

技術領域

本發明涉及一種表面處理裝置，具體是一種用于對塊狀磁體的表面進行處理的表面處理裝置。

背景技術

釹鐵硼永磁體體積小、重量輕和磁性強，在各個行業都得到廣泛的使用。但是釹鐵硼如果暴露在濕潤大氣中容易氧化，通常需要對其進行表面處理以防止腐蝕。通過氣相沉積金屬薄膜的方式可以達到對其進行防腐的目的。所用金屬可以是鋁、鋅和錫或者其合金。要想達到良好的防腐效果，表面鍍層必須不能有任何掛點及劃傷。

株式會社新王磁材的CN1209487C提供了一種干表面處理裝置，其中涉及一種有多孔外壁的、用于裝入工件的管筒。這種管筒垂直于轉動軸線的剖面為多邊形，分布在轉軸圓周上管筒圍繞轉軸轉動，從而實現工件在管筒內的自動翻面。這種方式雖然可以滿足大部分片狀磁體通過表面處理氣相沉積進行防腐的要求。但是對于方塊狀或近似方塊狀的大型磁體，由于其質量大且邊角比較尖，采用上述的裝置翻轉滑動時，邊角部受力非常大，同時剛沉積在邊角上的沉積層比較軟，從而容易在翻轉時造成工件和管筒之間的磕碰和摩擦，以及邊角鍍層的破壞。這種損傷對于表面鍍層質量高，特別是稀土永磁體等基體容易腐蝕的工件來說是非常致命的。

發明內容

針對上述問題，本發明提供一種表面處理裝置，該表面處理裝置包括：能充放氣體的容器；旋轉構件，安裝在所述容器；工件盛放構件，以能拆卸的方式安裝在所述旋轉構件，所述工件盛放裝置具有盛放待處理工件的內部空間；表面處理構件，對盛放在所述內部空間的所述待處理工件進行表面處理。

優選地，所述旋轉構件旋轉時，所述待處理工件相對所述表面處理構件翻轉，而不相對所述工件盛放構件發生翻轉。

優選地，多個所述工件盛放構件安裝在所述旋轉構件的周部，當所述旋轉構件繞其中心軸線旋轉時，所述工件和所述工件盛放構件一起由于重力作用發生轉動。

所述工件盛放構件優選為網狀筒構件，其內設有分隔件，用于隔開和固定所述待處理工件。

所述表面處理構件是金屬或金屬氧化物鍍材蒸發源。

上述表面處理裝置能夠使工件在相對于蒸發源翻轉的同時，減少工件特別是工件邊角和網狀管筒之間的滑動和摩擦，實現工件各個表面的鍍層均勻一致，同時邊角鍍層不發生破損。

附圖說明

圖1是本發明一個實施方式的表面處理裝置的縱向剖面圖；

圖2是圖1的表面處理裝置的橫向剖面圖；

圖3是示出圖1中支撐架和工件盛放構件細節的圖；

圖4是示出圖3中的工件盛放構件閉合狀態的圖，其內部空間盛放有工件；

圖5是示出圖3中的工件盛放構件打開狀態的圖，其內部空間盛放有工件；

圖6是示出圖3中的工件盛放構件打開狀態的圖，其內部空間未盛放工件；

圖7是示出圖1中的表面處理裝置工作時，工件盛放構件和盛放在其中的工件的轉動狀態的圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明一個實施方式的表面處理裝置進行詳細的說明。

如圖1和圖2所示，一個實施方式的表面處理裝置包括容器1，可以向其中充入氣體和從中抽出氣體。在容器1的底部設置有表面處理構件2，例如用于蒸發金屬或金屬氧化物鍍材的蒸發源。在容器1的下部設有支撐部件，支撐部件上有轉輪3。轉輪3用于支持用作旋轉構件的轉架4，轉架4的兩端各有一個圓盤，圓盤被轉輪3支持，兩個圓盤通過連接桿7連接在一起。

在容器1的一端設置有可以旋轉的齒輪軸5。轉架4的其中一個圓盤上固定有齒輪6，該齒輪6和齒輪軸5共同構成行星齒輪結構。通過控制調整齒輪軸5的旋轉方向和轉速，使得轉架4可以按照不同的速度旋轉。

轉架4上沿其外周設置有多個支撐架8，如圖1和圖2所示。支撐架8以可拆卸方式固定安裝在轉架4上。支撐架8上固定有多個支撐套環9，如圖3所示，它們的中心孔共有一條軸線。可以開合的網狀管筒10（見圖4至圖6）套裝在支撐套環9的中心孔上，如圖3所示，網狀管筒10的外周尺寸比支撐套環9的中心孔的內徑小，使得網狀管筒10與支撐套環9之間有一定的間隙。如圖5和圖6所示，網狀管筒10的內部空間設置有分隔件12，用于隔開并固定待處理的工件11。分隔件12可以呈網狀或梳型，還可以設置成上下對應的小突塊。

網狀管筒10內部空間的尺寸略大于待處理工件11的尺寸，使得工件11能被順利裝入網狀管筒10中并與網狀管筒10之間有一定的空隙。當網狀管筒10轉動時，工件11在網狀管筒10的內部空間僅有少量移動，而不發生翻轉，這樣可以減少工件11和網狀管筒10之間的滑動和摩擦。