[發明專利]一種表面處理裝置有效
| 申請號： | 201310058915.3 | 申請日： | 2013-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN104004993B | 公開（公告）日： | 2018-01-12 |
| 發明（設計）人： | 王進東;饒曉雷;胡伯平 | 申請（專利權）人： | 北京中科三環高技術股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京航忱知識產權代理事務所(普通合伙)11377 | 代理人： | 陳立航 |
| 地址： | 100190 北京市海淀區中*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 處理 裝置 | ||
1.一種表面處理裝置，包括：
容器，能充放氣體，容器的下部設有支撐部件，支撐部件上有轉輪，容器的一端設置有能夠旋轉的齒輪軸；
旋轉構件，安裝在所述容器的內部，所述旋轉構件包括轉架、支撐架和多個支撐套環，支撐架固定多個支撐套環，轉架兩端各有一個圓盤，圓盤被轉輪支持，兩個圓盤通過連接桿連接在一起，支撐架以能夠拆卸的方式固定安裝在轉架上，兩個圓盤中的一個圓盤上固定有齒輪，齒輪和齒輪軸構成行星齒輪結構；
工件盛放構件，以能拆卸的方式安裝在所述旋轉構件的周部，所述工件盛放構件包括網狀管筒，所述網狀管筒的外周尺寸比所述支撐套環的中心孔的內徑小，所述工件盛放構件具有盛放待處理工件的內部空間；
表面處理構件，設置在容器的底部，對盛放在所述內部空間的所述待處理工件進行表面處理，
所述旋轉構件旋轉時，盛放在所述內部空間的所述待處理工件相對所述表面處理構件發生翻轉，而不相對所述工件盛放構件發生翻轉。
2.根據權利要求1所述的表面處理裝置，其特征在于，多個所述工件盛放構件安裝在所述旋轉構件的周部，當所述旋轉構件繞其中心軸線旋轉時，所述工件和工件盛放構件一起由于重力作用發生轉動。
3.根據權利要求1所述的表面處理裝置，其特征在于，所述工件盛放構件為網狀筒構件，其內設有分隔件，用于隔開和固定所述待處理工件。
4.根據權利要求3所述的表面處理裝置，其特征在于，所述分隔件為網狀分隔件。
5.根據權利要求1所述的表面處理裝置，其特征在于，所述表面處理構件是金屬或金屬氧化物鍍材蒸發源。
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