[發明專利]一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統

有效

• 申請號: 201310058264.8
• 申請日: 2013-02-25
• 公開（公告）號: CN103144112A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 靳立輝;王國瑞;于書瀚;張基龍
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: B25J9/18
• 分類號: B25J9/18
• 代理公司: 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莉華

技術領域

本發明涉及硅片制造設備技術領域，尤其是涉及一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統。

背景技術

化學腐蝕是當今硅片的制造過程中非常重要的工藝?，F今生產中使用的主流設備都是日本出產，基本上能滿足生產中的需要?？呻S著設備在日常中的使用，動力控制部分中的一些不足及程序上的一些不合理的就逐步顯現出來。

原化腐機的搬運系統為汽缸傳動。通過控制氣閥的通斷來控制汽缸活塞的運動，利用螺紋與螺母的運動達到機械臂運動的效果。制動部分采用光耦限位開關及保險硬限位塊，制動動作存在一定安全隱患。而且傳統的氣缸中活塞的密封由于往復運動存在老化，致使氣缸內部竄氣，活塞卡住運動不到位。

另外，原化腐機控制機械手進入酸液的深度都是采用外部限位開關控制的。這就導致腐蝕不同尺寸的拋光片時，需要調節限位開關的不同位置，工序繁瑣。

發明內容

本發明要解決的問題是提供一種采用電機控制能精確定位的硅片自動化學腐蝕機的控制系統。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統，包括機械手，其特征在于：還包括伺服電機、伺服電機驅動器、伺服驅動模塊和PC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅動模塊，所述伺服驅動模塊還所述伺服電機驅動器相連，所述伺服電機驅動器與所述電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。

所述伺服驅動模塊與所述伺服電機驅動器通過光纖傳輸線相連。

所述伺服電機驅動器的型號為MR-J3-200B。

所述伺服驅動模塊的型號為Qd75MH-1。

所述伺服電機驅動器還具有中斷報警端口，與伺服電機相連。

本發明具有的優點和積極效果是：由于采用上述技術方案，能夠避免由于汽缸老化造成的系統故障，及其故障所產生的損失。采用的伺服電機能夠精確的定位從而減少變更產品時對設備的調整。伺服電機控制機械手實現拋動功能能夠提高化腐機所加工產品的質量，提高合格率。

附圖說明

圖1是本發明的結構框圖

圖2是本發明工作控制方法的流程圖

具體實施方式

如圖1所示，本發明包括機械手，其特征在于：還包括伺服電機、伺服電機驅動器、伺服驅動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅動模塊，所述伺服驅動模塊還所述伺服電機驅動器相連，所述伺服電機驅動器與所述電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。

所述伺服驅動模塊與所述伺服電機驅動器通過光纖傳輸線相連。

所述伺服電機驅動器的型號為MR-J3-200B。

所述伺服驅動模塊的型號為Qd75MH-1。

本實例的工作過程：基于生產工藝中的各項要求，在PLC控制器上設置好運行參數，PLC控制器通過讀取這些參數，來給伺服驅動模塊指令；指令中包括運行時的速度，運行的位置，以及每一步驟保持的時間。伺服驅動模塊通過光纖將指令傳達給伺服電機驅動器，伺服電機驅動器接到指令后，會驅動伺服電機運轉，機械手達到指定位置，并按照設定程序進行工作。

如圖2所示，該控制系統的控制方式為：

(1)開啟設備后上料架的位置應在原點位置，如不在則PLC控制器則控制上料架自動運行到原點位置，等待上料。

(2)上料結束后，根據要酸腐的硅片尺寸進行浸沒位置及運行速度的設置。

(3)參數設置好后，機械手根據參數緩慢進入酸洗槽中的指定位置進行酸腐。

(4)進入酸腐槽后，機械手會運行拋動程序，上下運行并持續一段時間。

(5)拋動過程完成后，為避免氧化，機械手將快速的從酸槽運行到水槽，進行純水漂洗。

(6)漂洗過程完成后，機械手自動回到原點位置等待卸料，至此單次腐化過程運行完畢。

伺服電機驅動器還具有中斷報警端口，與伺服電機相連。當伺服電機運行到限位開關位時，會強行中斷電機運作，起到保護作用；同時產生一個報警信號，通知操作人員，以達到警示作用。

以上對本發明的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本發明申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本發明的專利涵蓋范圍之內。