[發明專利]一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統有效
| 申請號： | 201310058264.8 | 申請日： | 2013-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN103144112A | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 靳立輝;王國瑞;于書瀚;張基龍 | 申請（專利權）人： | 天津市環歐半導體材料技術有限公司 |
| 主分類號： | B25J9/18 | 分類號： | B25J9/18 |
| 代理公司： | 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉華 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 自動 化學 腐蝕 控制系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統，包括機械手，其特征在于：還包括伺服電機、伺服電機驅動器、伺服驅動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅動模塊，所述伺服驅動模塊還所述伺服電機驅動器相連，所述伺服電機驅動器與所述伺服電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。
2.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于：所述伺服驅動模塊與所述伺服電機驅動器通過光纖傳輸線相連。
3.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于：所述伺服電機驅動器的型號為MR-J3-200B。
4.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于：所述伺服驅動模塊的型號為Qd75MH-1。
5.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于：所述伺服電機驅動器還具有中斷報警端口，與所述伺服電機相連。
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