[發(fā)明專利]一種集成電路互連線寄生電容的建模方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310057370.4
• 申請(qǐng)日: 2013-02-22
• 公開（公告）號(hào): CN103164572A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 屈慧;徐小宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院電工研究所
• 主分類號(hào): G06F17/50
• 分類號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 關(guān)玲

1.一種集成電路互連線寄生電容的建模方法，其特征在于，所述的建模方法為：針對(duì)一個(gè)給定的互連線結(jié)構(gòu)，用有限元法求所述互連線結(jié)構(gòu)的寄生電容的一階、二階敏感度，建立對(duì)應(yīng)的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式，并用所述的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式計(jì)算設(shè)計(jì)尺寸參數(shù)有效范圍內(nèi)若干計(jì)算點(diǎn)的寄生電容初值，再用有限元場(chǎng)求解器直接計(jì)算出所述計(jì)算點(diǎn)的寄生電容值，把兩次計(jì)算得到的相同計(jì)算點(diǎn)的兩個(gè)電容值相減，得到相應(yīng)的誤差值，用所述的誤差值擬合出誤差修正表達(dá)式，把所述的誤差修正表達(dá)式疊加到所述的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式上，得到該互連線結(jié)構(gòu)最終的寄生電容表達(dá)式。

2.如權(quán)利要求1所述的集成電路互連線寄生電容的建模方法，其特征在于對(duì)于所述的給定互連線結(jié)構(gòu)的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式的建立步驟如下：在設(shè)計(jì)尺寸參數(shù)p₁,p₂,p₃,…有效范圍的額定點(diǎn)（p₁₀，p₂₀,p₃₀,…）上用有限元場(chǎng)求解器直接計(jì)算一個(gè)電容值作為C₀，在該額定點(diǎn)上用有限元局部Jacobian矩陣求導(dǎo)數(shù)的方法計(jì)算寄生電容對(duì)各設(shè)計(jì)尺寸參數(shù)的一階、二階導(dǎo)數(shù)值，得到該互連線結(jié)構(gòu)的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式：C′=C0+Σi∂C∂pi·Δpi+Σi∂2C∂p2iΔpi2+Σi,ji≠j∂2C∂pi∂pjΔpiΔpj,]]>把該式中的Δp_i全部展開為（p_i-p_i0），p_i0為額定點(diǎn)尺寸，得到以p_i為變量的二階寄生電容基礎(chǔ)表達(dá)式。

3.如權(quán)利要求1所述的集成電路互連線寄生電容的建模方法，其特征在于用有限元場(chǎng)求解器計(jì)算寄生電容時(shí)，所述計(jì)算點(diǎn)的位置及數(shù)量的選取方法為：在各設(shè)計(jì)尺寸參數(shù)，即因素的有效范圍內(nèi)選取若干值，即水平值，根據(jù)因素?cái)?shù)和水平值，采用正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)方法中相應(yīng)的正交表選取計(jì)算點(diǎn)；采用有限元場(chǎng)求解器對(duì)所選取的計(jì)算點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算，得到寄生電容值C。