[發(fā)明專利]探針裝置和探針卡的平行調(diào)整機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310056424.5
• 申請日: 2013-02-22
• 公開（公告）號: CN103293349A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秋山收司;龜田修宏;田中完爾
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G05D3/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種探針裝置，其使配置于探針卡的多個探針與被檢測基板接觸從而進行電檢測，所述探針裝置的特征在于，包括：

載置臺，其載置所述被檢測基板；

頂板，其將所述探針卡保持在所述載置臺的上方；

在四角對所述頂板進行支承的四個支承柱；

升降機構(gòu)，其配置于所述支承柱之中的至少三處，使所述頂板升降從而對所述探針卡和所述載置臺上的所述被檢測基板的平行度進行調(diào)整；和

制動機構(gòu)，其配置于所述升降機構(gòu)的配置部位之中的至少一處，對所述頂板的升降施加制動，且所述制動機構(gòu)所施加的制動能夠被解除。

2.如權(quán)利要求1所述的探針裝置，其特征在于：

所述制動機構(gòu)包括：

軸，其垂直固定于所述升降機構(gòu)；和

把持機構(gòu)，其固定于所述支承柱，并把持所述軸。

3.如權(quán)利要求1或2所述的探針裝置，其特征在于：

所述升降機構(gòu)配置于所述頂板的四角之中的前方側(cè)兩處和后方側(cè)一處的總計三處，

所述制動機構(gòu)配置于在后方側(cè)一處配置的所述升降機構(gòu)的配置部位。

4.如權(quán)利要求1或2任一項所述的探針裝置，其特征在于：

所述升降機構(gòu)具有：

移動體，其具有配置為能夠沿所述支承柱的上表面移動的傾斜面；

升降體，其與所述頂板連結(jié)且配置為能夠沿所述移動體的傾斜面升降；和

驅(qū)動機構(gòu)，其使所述移動體沿所述支承柱的上表面移動。

5.一種探針卡的平行調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：

具有升降機構(gòu)，該升降機構(gòu)介于在四角對安裝有探針卡的頂板進行支承的四個支承柱之中的至少三個支承柱和所述頂板之間，對所述探針卡和配置于所述探針卡的下方的載置臺上的被檢測基板的平行度進行調(diào)整，

具有制動機構(gòu)，該制動機構(gòu)配置于所述升降機構(gòu)的配置部位之中的至少一處，對所述頂板的升降施加制動，且所述制動機構(gòu)所施加的制動能夠被解除。

6.如權(quán)利要求5所述的探針卡的平行調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：

所述制動機構(gòu)包括：

軸，其垂直固定于所述升降機構(gòu)；和

把持機構(gòu)，其固定于所述支承柱，并把持所述軸。

7.如權(quán)利要求5或6所述的探針卡的平行調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：

所述升降機構(gòu)配置于所述頂板的四角之中的前方側(cè)兩處和后方側(cè)一處的總計三處，

所述制動機構(gòu)配置于在后方側(cè)一處配置的所述升降機構(gòu)的配置部位。

8.如權(quán)利要求5或6所述的探針裝置，其特征在于：

所述升降機構(gòu)具有：

移動體，其具有配置為能夠沿所述支承柱的上表面移動的傾斜面；

升降體，其與所述頂板連結(jié)且配置為能夠沿所述移動體的傾斜面升降；和

驅(qū)動機構(gòu)，其使所述移動體沿所述支承柱的上表面移動。