[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 201310055320.2
• 申請日: 2013-02-21
• 公開（公告）號: CN103364478A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 高橋朋宏;荒木浩之
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: G01N27/60
• 分類號: G01N27/60;G01N1/28
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

1.一種基板處理裝置，其特征在于，

包括：

循環路，包括貯存磷酸水溶液的處理槽、輸送磷酸水溶液的循環泵、對磷酸水溶液進行加熱的循環用加熱器、對磷酸水溶液進行過濾的過濾器，用于使從上述處理槽排出的磷酸水溶液依次流過上述循環泵、上述循環用加熱器、上述過濾器，并且使磷酸水溶液從上述過濾器返回上述處理槽中；

分支管，在上述循環用加熱器與上述過濾器之間從上述循環路分支，用于從上述循環路提取磷酸水溶液；

濃度測定部，與上述分支管相連通連接，通過電位差測定法測定磷酸水溶液中的硅濃度。

2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，該基板處理裝置還具有采樣用加熱器，該采樣用加熱器對從上述循環路提取的磷酸水溶液進行加熱。

3.一種基板處理裝置，其特征在于，

包括：

循環路，包括貯存磷酸水溶液的處理槽、輸送磷酸水溶液的循環泵、對磷酸水溶液進行加熱的循環用加熱器、對磷酸水溶液進行過濾的過濾器，用于使從上述處理槽排出的磷酸水溶液依次流過上述循環泵、上述循環用加熱器、上述過濾器，并且使磷酸水溶液從上述過濾器返回上述處理槽中；

分支管，從上述循環路分支，用于從上述循環路提取磷酸水溶液；

濃度測定部，與上述分支管相連通連接，通過電位差測定法測定所提取的磷酸水溶液中的硅濃度；

采樣用加熱器，對從上述循環路中抽出的磷酸水溶液進行加熱。

4.根據權利要求2或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，上述采樣用加熱器安裝于上述分支管，用于對上述分支管內的磷酸水溶液進行加熱。

5.根據權利要求2或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，上述采樣用加熱器安裝于上述濃度測定部，用于對上述濃度測定部內的磷酸水溶液或者含有該磷酸水溶液的溶液進行加熱。

6.根據權利要求2或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，

該基板處理裝置具有秤量部，該秤量部與上述分支管相連通連接，用于對規定量的磷酸水溶液進行稱量，

上述濃度測定部測定由上述秤量部秤量過的磷酸水溶液中的硅濃度，

上述采樣用加熱器安裝于上述秤量部，用于對上述秤量部內的磷酸水溶液進行加熱。

7.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，上述秤量部具有秤量容器，該秤量容器用于貯存規定量的磷酸水溶液。

8.根據權利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述秤量部具有：

注射筒，其形成為筒狀；

柱塞，以氣密的狀態在上述注射筒內滑動；

驅動部，驅動上述柱塞，來將規定量的磷酸水溶液抽吸至上述注射筒內，并且從上述注射筒排出規定量的磷酸水溶液。

9.根據權利要求1或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，

該基板處理裝置具有秤量部，該秤量部與上述分支管相連通連接，用于對規定量的磷酸水溶液進行稱量，

上述濃度測定部測定由上述秤量部秤量過的磷酸水溶液中的硅濃度。

10.根據權利要求9所述的基板處理裝置，其特征在于，上述秤量部具有秤量容器，該秤量容器用于貯存規定量的磷酸水溶液。

11.根據權利要求9所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述秤量部具有：

注射筒，其形成為筒狀；

柱塞，以氣密的狀態在上述注射筒內滑動；

驅動部，驅動上述柱塞，來將規定量的磷酸水溶液抽吸至上述注射筒內，并且從上述注射筒排出規定量的磷酸水溶液。

12.根據權利要求1或者3所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述處理槽具有內槽和外槽，其中，該內槽用于貯存磷酸水溶液來浸漬基板，該外槽用于回收從上述內槽溢出的磷酸水溶液，

上述過濾器具有設置于該過濾器的入口部與出口部之間的過濾部件，

上述循環路具有第一配管和第二配管，其中，該第一配管連通連接上述過濾器的出口部和上述內槽，該第二配管連通連接上述過濾器的入口部和上述外槽，

上述分支管從上述第二配管分支。