[發(fā)明專利]磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310053715.9
• 申請(qǐng)日: 2013-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN103366761A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 川本慎治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): G11B5/455
• 分類號(hào): G11B5/455;G11B5/31
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢查薄膜磁頭的磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法，特別涉及一種能夠高效地進(jìn)行無法通過光學(xué)顯微鏡檢查的薄膜磁頭的磁道寬度的檢查的磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法。

背景技術(shù)

作為進(jìn)行薄膜磁頭的磁道寬度的檢查的技術(shù)，有專利文獻(xiàn)1。在專利文獻(xiàn)1中，從結(jié)合區(qū)向磁條（row?bar）狀態(tài)的薄膜磁頭輸入記錄信號(hào)（勵(lì)磁用信號(hào)），在與磁頭的上浮高度相當(dāng)?shù)奈恢脤?duì)通過包含在薄膜磁頭中的記錄頭元件產(chǎn)生的磁場(chǎng)的情形進(jìn)行掃描移動(dòng)。另外，通過磁力顯微鏡（MFM）、掃描型霍爾探針顯微鏡（SHPM）或掃描型磁阻效應(yīng)顯微鏡（SMRM）進(jìn)行直接觀察，由此不測(cè)定記錄頭元件的物理形狀，而是測(cè)定發(fā)生磁場(chǎng)形狀，能夠非破壞地實(shí)施磁性的有效磁道寬度的檢查。

即，通過使用磁力顯微鏡，能夠在磁條狀態(tài)下進(jìn)行以前只能使用旋轉(zhuǎn)臺(tái)（Spin-stand）在HGA狀態(tài)或模擬HGA狀態(tài)下檢查的有效磁道寬度的測(cè)定。

但是，在專利文獻(xiàn)1中，不只是磁頭元件附近，還包含其周圍在內(nèi)地對(duì)整個(gè)面進(jìn)行掃描，因此掃描需要時(shí)間。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-230845號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠高效地檢查磁頭的磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法。

本發(fā)明為了達(dá)到上述目的，至少具有以下特征。

本發(fā)明的第一特征在于：向磁條狀態(tài)的磁頭的連接端子供給勵(lì)磁用信號(hào)，使設(shè)置在被以預(yù)定頻率激勵(lì)的磁力顯微鏡的懸臂的前端的磁性探針上浮到上述磁頭以上，使其與上述磁頭的一邊平行地以預(yù)定的間隔對(duì)多條掃描線進(jìn)行掃描，在上述掃描過程中檢測(cè)表示上述懸臂的激勵(lì)狀態(tài)的上述磁頭的上述磁場(chǎng)強(qiáng)度，形成上述掃描線的磁場(chǎng)強(qiáng)度的磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，根據(jù)上述檢測(cè)步驟的檢測(cè)結(jié)果，提取產(chǎn)生上述磁頭的磁性有效磁道寬度的有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，根據(jù)上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度，上述掃描在提取出上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線后，停止用于求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度的掃描。

另外，本發(fā)明的第二特征在于：在上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線提取中，提取產(chǎn)生在各上述掃描線得到的上述磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的最大值的最大值的磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線、或產(chǎn)生從各上述掃描線的上述磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線得到的磁性有效磁道寬度的最大值的磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，來作為上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度曲線。

進(jìn)而，本發(fā)明的第三特征在于：上述掃描控制根據(jù)已經(jīng)通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度，限定上述掃描線內(nèi)的掃描范圍。

另外，本發(fā)明的第四特征在于：上述掃描控制根據(jù)已經(jīng)通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度、或在各上述掃描線得到的上述磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的最大值所形成的最大值磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，限定應(yīng)該掃描的上述掃描線的范圍。

進(jìn)而，本發(fā)明的第五特征在于：在上述檢查中，除了上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線以外，還根據(jù)上述有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的一個(gè)、或多個(gè)前后的磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠高效地檢查磁頭元件的磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的磁頭檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是通過對(duì)包含磁頭在內(nèi)的預(yù)定的范圍進(jìn)行全面掃描的現(xiàn)有技術(shù)得到的圖像。

圖3是表示在圖2中將在橫（Y）方向上對(duì)磁頭進(jìn)行掃描而得的掃描圖像圖形化為磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的圖，是表示磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線中的磁頭的磁場(chǎng)的影響最大、即具有磁性有效磁道寬度的有效磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的圖。

圖4是示意地表示進(jìn)行圖2所示的全面掃描時(shí)的各掃描中的磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的圖。

圖5表示用于得到磁性有效磁道寬度的掃描范圍的第一實(shí)施例。

圖6是表示實(shí)施例1的最大值磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的圖。

圖7是表示實(shí)施例1的用于得到磁性有效磁道寬度的處理流程的圖。

圖8表示限定用于得到磁性有效磁道寬度的掃描線內(nèi)的掃描范圍的第二實(shí)施例的圖。

圖9是表示實(shí)施例2的各磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線中的掃描內(nèi)的開始位置和結(jié)束位置的圖。

圖10是表示進(jìn)一步限定用于得到磁性有效磁道寬度的掃描范圍的第三實(shí)施例的圖。

圖11是表示限定用于得到磁性有效磁道寬度的應(yīng)該掃描的掃描線的范圍的第四實(shí)施例的圖。

圖12是表示實(shí)施例4的最大值磁場(chǎng)強(qiáng)度特性曲線的圖。

附圖標(biāo)記說明