[發明專利]磁頭檢查裝置和磁頭檢查方法

無效

• 申請號: 201310053715.9
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103366761A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 川本慎治
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G11B5/455
• 分類號: G11B5/455;G11B5/31
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;郭鳳麟

1.一種磁頭檢查裝置，其特征在于，具備：

磁力顯微鏡的懸臂單元，其前端具備磁性探針，以預定頻率被激勵；

探針單元，其向磁條狀態的磁頭的連接端子供給勵磁用信號；

掃描控制單元，其使上述磁性探針上浮到上述磁頭以上，使其與上述磁頭的一邊平行地以預定的間隔對多條掃描線進行掃描；

檢測單元，其在上述掃描過程中檢測表示上述懸臂單元的激勵狀態的上述磁頭的磁場強度；

磁場強度特性曲線形成單元，其形成上述掃描線的上述磁場強度的磁場強度特性曲線；

有效磁場強度特性曲線提取單元，其根據上述檢測單元的檢測結果，提取產生上述磁頭的磁性有效磁道寬度的有效磁場強度特性曲線；

上述磁頭的檢查單元，其根據上述有效磁場強度特性曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度；以及

掃描停止單元，上述掃描控制單元在提取上述有效磁場強度特性曲線后，停止用于求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度的掃描。

2.根據權利要求1所述的磁頭檢查裝置，其特征在于，

上述有效磁場強度特性曲線提取單元提取產生在各上述掃描線得到的上述磁場強度特性曲線的最大值的最大值的磁場強度特性曲線、或產生根據各上述掃描線的上述磁場強度特性曲線得到的磁性有效磁道寬度的最大值的磁場強度特性曲線來作為上述有效磁場強度特性曲線。

3.根據權利要求1或2所述的磁頭檢查裝置，其特征在于，

上述掃描控制單元根據已經通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度，限定上述掃描線的掃描范圍。

4.根據權利要求1或2所述的磁頭檢查裝置，其特征在于，

上述掃描控制單元根據已經通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度、或在各上述掃描線得到的上述磁場強度特性曲線的最大值所形成的最大值磁場強度特性曲線，限定應該掃描的上述掃描線的范圍。

5.根據權利要求1或2所述的磁頭檢查裝置，其特征在于，

上述檢查單元除了上述有效磁場強度特性曲線以外，還根據上述有效磁場強度特性曲線的一個、或多個前后的磁場強度特性曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度。

6.一種磁頭檢查方法，其特征在于，包括：

向磁條狀態的磁頭的連接端子供給勵磁用信號的供給步驟；

使設置在被以預定頻率激勵的磁力顯微鏡的懸臂的前端的磁性探針上浮到上述磁頭以上，使其與上述磁頭的一邊平行地以預定的間隔對多條掃描線進行掃描的掃描控制步驟；

在上述掃描過程中檢測表示上述懸臂的激勵狀態的上述磁頭的磁場強度的檢測步驟；

形成上述掃描線的上述磁場強度的磁場強度特性曲線的磁場強度特性曲線形成步驟；

根據上述檢測步驟的檢測結果，提取產生上述磁頭的磁性有效磁道寬度的有效磁場強度特性曲線的有效磁場強度特性曲線提取步驟；

根據上述有效磁場強度曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度的上述磁頭的檢查步驟；以及

上述掃描控制步驟在提取出上述有效磁場強度特性曲線后，停止用于求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度的掃描的停止步驟。

7.根據權利要求6所述的磁頭檢查方法，其特征在于，

在上述有效磁場強度特性曲線提取步驟中，提取產生在各上述掃描線得到的上述磁場強度特性曲線的最大值的最大值的磁場強度特性曲線、或產生根據各上述掃描線的上述磁場強度特性曲線得到的磁性有效磁道寬度的最大值的磁場強度特性曲線來作為上述有效磁場強度特性曲線。

8.根據權利要求6或7所述的磁頭檢查方法，其特征在于，

在上述掃描控制步驟中，根據已經通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度，限定上述掃描線內的掃描范圍。

9.根據權利要求6或7所述的磁頭檢查方法，其特征在于，

在上述掃描控制步驟中，根據已經通過同一上述磁條或來自同一批次的上述磁條得到的上述磁頭的磁性有效磁道寬度、或在各上述掃描線得到的上述磁場強度特性曲線的最大值所形成的最大值磁場強度特性曲線，限定應該掃描的上述掃描線的范圍。

10.根據權利要求6或7所述的磁頭檢查方法，其特征在于，

在上述檢查步驟中，除了上述有效磁場強度特性曲線以外，還根據上述有效磁場強度特性曲線的一個或多個前后的磁場強度特性曲線，求出上述磁頭的磁性有效磁道寬度。