[發(fā)明專利]真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310052836.1
• 申請日: 2013-02-18
• 公開（公告）號: CN103996417A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武榮庭;郇慶;閆凌昊;高鴻鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

1.一種真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，包括：一波紋管和一波紋管的同軸線性驅(qū)動組件；該波紋管的同軸線性驅(qū)動組件包含一左旋驅(qū)動件、一連接件、以及一右旋驅(qū)動件，該連接件的兩端分別連接該左旋驅(qū)動件以及該右旋驅(qū)動件，該左旋驅(qū)動件、該連接件以及該右旋驅(qū)動件均為中空式結(jié)構(gòu)，且形成一容置空間，該波紋管設(shè)置在該容置空間內(nèi)，且該波紋管的兩端分別固定在該左旋驅(qū)動件和該右旋驅(qū)動件上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該連接件設(shè)置在該左旋驅(qū)動件以及該右旋驅(qū)動件的外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于該連接件設(shè)置在該左旋驅(qū)動件以及該右旋驅(qū)動件的內(nèi)側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該左旋驅(qū)動件外壁含有一左旋外螺紋，該右旋驅(qū)動件外壁含有一右旋外螺紋，在該連接件一端內(nèi)側(cè)含有一左旋內(nèi)螺紋，另一端內(nèi)側(cè)含有一右旋內(nèi)螺紋。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該左旋驅(qū)動件外壁含有一左旋外凹槽，該右旋驅(qū)動件外壁含有一右旋外凹槽，在該連接件一端內(nèi)側(cè)含有一左旋內(nèi)凹槽，另一端內(nèi)側(cè)含有一右旋內(nèi)凹槽，該左旋外凹槽與該左旋內(nèi)凹槽之間正好可以形成一通道，在該通道中配有多個滾珠；該右旋外凹槽與該右旋內(nèi)凹槽之間正好可以形成一通道，在該通道中配有多個滾珠。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該波紋管與該左旋驅(qū)動件通過多個固定點固定，該多個固定點均勻的分布在一個圓周上；該波紋管與該右旋驅(qū)動件通過多個固定點固定，這些固定點均勻的分布在一個圓周上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該左旋驅(qū)動件與該右旋驅(qū)動件兩者以相同的步調(diào)相對連接件旋轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該左旋內(nèi)螺紋、該右旋內(nèi)螺紋、該左旋外螺紋以及該右旋外螺紋均采用精密螺紋副。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，在該左旋驅(qū)動件和右旋驅(qū)動件的外壁上設(shè)有一推進刻度；該連接件外側(cè)圓周設(shè)有n等分刻度，n為大于1的整數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)兼容的同軸精密線性推進裝置，其特征在于，該左旋驅(qū)動件及該右旋驅(qū)動件上設(shè)有法蘭盤，且該法蘭盤通過多個螺釘固定在該左旋驅(qū)動件和該右旋驅(qū)動件上。