[發(fā)明專利]用于在其加工過程中傳送太陽能晶圓或太陽電池的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310049196.9
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103258767A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 陳聯(lián)福;屠文革
• 申請（專利權）人: 先進科技新加坡有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京申翔知識產(chǎn)權代理有限公司 11214
• 代理人: 周春發(fā)

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于在太陽能晶圓或太陽電池的加工構造過程中當在拾取和放置位置處將同一個太陽能晶圓或太陽電池保持其方位的同時，在不同位置之間傳送它們的裝置。

背景技術

太陽電池（solar?cells）是根據(jù)光伏效應（photovoltaic?effect：PV?effect）將光能轉化為電能的電子器件。通過將太陽能電池排列在串接一起，PV太陽能版能夠被成形來提供一種能量產(chǎn)生器件。太陽電池已經(jīng)逐漸地被用作為備份能源供應，以用于不同的消費者產(chǎn)品如移動手機和個人數(shù)字助理。

太陽電池的制造包括一系列由太陽能晶圓作為原始輸入材料的處理步驟。通常，拾取和放置自動裝置（robots）被使用以從太陽能晶圓的存儲料盒處傳送太陽能晶圓至指定的傳輸機構，其然后將太陽能晶圓傳送至指定的處理平臺。處理平臺的一個示例是分類平臺，在那里使用視覺檢查模塊可以快速地（on-the-fly）完成2D和3D檢查，以為太陽能晶圓提供各種測量，如晶圓的幾何形狀、晶圓厚度、弓曲和扭曲。根據(jù)這些測量，太陽能晶圓被相應地分類和裝配進入各種存儲料盒中。

然而，在太陽能晶圓的構造過程中所采用的傳統(tǒng)的拾取和放置自動裝置通常需要多個移動軸線，以在整個構造處理過程中確保太陽能晶圓的角度方位。接著，除了一個復雜的控制系統(tǒng)來保證拾取和放置自動裝置合適地起作用之外，較大的占地面積同樣也被需要來為多個移動軸線的操作提供充分的空間。而且，由于它們的多個移動軸線的復雜構造，這種拾取和放置自動裝置易于發(fā)生機器停車，這不利地降低了產(chǎn)能和效率。另外，這種拾取和放置自動裝置的維護通常需要專業(yè)技能，這增加了維護成本。

所以，本發(fā)明的目的是尋求解決在太陽能晶圓和太陽電池的加工過程中所使用的傳統(tǒng)拾取和放置自動裝置的難題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明一方面提供一種用于在其加工過程中傳送太陽能晶圓或電池的裝置，該裝置包含有：i）旋轉馬達；ii）夾具，其用于夾持該太陽能晶圓或電池；以及iii）旋轉臂，其連接在旋轉馬達和夾具之間，該旋轉臂被旋轉馬達在第一旋轉方向上驅動通過一傳送角度，以在不同的位置之間傳送該太陽能晶圓或電池；特別是，該裝置還包含有角度補償設備，其被配置來驅動該夾具在第二旋轉方向上通過與旋轉臂相同的傳送角度，該第二旋轉方向和第一旋轉方向相反，以致于在旋轉臂的旋轉期間太陽能晶圓或電池的角度方位保持不變。

由于提供有被配置來驅動夾具在和旋轉臂轉動的旋轉方向相反的旋轉方向上通過一個傳送角度的角度補償設備，本裝置的實施例不必須依賴于具有多個移動軸線的拾取和放置自動裝置，以確保在太陽能晶圓和太陽電池構造過程中當傳送它們時它們的角度方位得以保持。所以，本裝置的這些實施例會較少地易于發(fā)生機器停車，這有益地增強了太陽能晶圓和太陽電池構造過程中的產(chǎn)能和效率。

一些可選特征描述在從屬權利要求中。

例如，角度補償設備具有的角度補償精度在0.1至1度之間，或者在0.5至1度之間。

而且，該角度補償設備可包含有：i）馬達轉軸，其連接在旋轉馬達上；ii）夾具皮帶輪，其連接在夾具上；iii）環(huán)形皮帶，其可旋轉地連接在馬達轉軸和夾具皮帶輪上；具體地，該旋轉臂由旋轉馬達在第一旋轉方向上驅動，以圍繞該馬達轉軸在第二旋轉方向上沿著連續(xù)的路徑驅動該環(huán)形皮帶，這樣接著在第二旋轉方向上驅動夾具，以在太陽能晶圓或電池被夾具在不同位置之間移動時確保太陽能晶圓或電池的角度方位保持不變。

附圖說明

現(xiàn)在僅僅通過示例的方式，并參考附圖描述本發(fā)明較佳實施例，其中。

圖1所示為根據(jù)本發(fā)明實施例所述的傳送裝置的仰視立體示意圖，其包含有用于在加工過程中傳送太陽能晶圓或電池的夾具。

圖2所示為帶有沿著圖1所示的A-A’剖面線由此割離的局部的圖1傳送裝置的俯視立體示意圖。

圖3a至圖3e所示為圖1傳送裝置的操作示意圖；以及。

圖4所示為圖1傳送裝置的夾具（gripper）。

具體實施方式

圖1所示為根據(jù)本發(fā)明實施例所述的傳送裝置100的仰視立體示意圖，該傳送裝置用于在太陽能晶圓或電池的加工過程中傳送太陽能晶圓或電池。傳送裝置100包含有：i)?旋轉馬達102；ii)夾具104，用于固定太陽能晶圓或電池（圖中未示）；以及iii)旋轉臂106，其連接在旋轉馬達102和夾具104之間。更具體地，旋轉馬達102被用于在旋轉順時針和/或逆時針方向上驅動旋轉臂106，以在不同位置之間傳送太陽能晶圓或電池。