[發(fā)明專利]用于在其加工過程中傳送太陽能晶圓或太陽電池的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310049196.9
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103258767A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳聯(lián)福;屠文革
• 申請（專利權(quán)）人: 先進(jìn)科技新加坡有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京申翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 周春發(fā)

1.一種用于傳送太陽能晶圓或電池的裝置，該裝置包含有：

旋轉(zhuǎn)馬達(dá)；

夾具，其被配置來夾持該太陽能晶圓或電池；以及

旋轉(zhuǎn)臂，其連接在旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和夾具之間，該旋轉(zhuǎn)臂被旋轉(zhuǎn)馬達(dá)在第一旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動通過

一傳送角度，以在不同的位置之間傳送該太陽能晶圓或電池；以及

角度補(bǔ)償設(shè)備，其被配置來驅(qū)動該夾具在第二旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)通過與旋轉(zhuǎn)臂相同的傳送角度，該第二旋轉(zhuǎn)方向和第一旋轉(zhuǎn)方向相反，以致于在旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)期間太陽能晶圓或電池的角度方位保持不變。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，角度補(bǔ)償設(shè)備具有的角度補(bǔ)償精度在0.1至1度之間。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，角度補(bǔ)償設(shè)備包含有：

馬達(dá)轉(zhuǎn)軸，其連接在旋轉(zhuǎn)馬達(dá)上；

夾具皮帶輪，其連接在夾具上；

環(huán)形皮帶，其可旋轉(zhuǎn)地連接在馬達(dá)轉(zhuǎn)軸和夾具皮帶輪上；

其中，該旋轉(zhuǎn)臂由旋轉(zhuǎn)馬達(dá)在第一旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動，以圍繞該馬達(dá)轉(zhuǎn)軸在第二旋轉(zhuǎn)方向上沿著連續(xù)的路徑驅(qū)動該環(huán)形皮帶，藉此在第二旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動夾具，以在太陽能晶圓或電池被夾具移動時確保太陽能晶圓或電池的角度方位得以保持。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，該馬達(dá)轉(zhuǎn)軸容置在旋轉(zhuǎn)馬達(dá)中。

5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其中，該馬達(dá)轉(zhuǎn)軸定位在旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的中央?yún)^(qū)域內(nèi)部。

6.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，該夾具皮帶輪通過夾具轉(zhuǎn)軸連接至夾具上。

7.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，該環(huán)形皮帶為同步皮帶。

8.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，該角度補(bǔ)償設(shè)備的馬達(dá)轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的定子。