[發明專利]用于降低紅外反射噪聲的重影的紅外反射/吸收層及使用其的圖像傳感器

有效

• 申請號: 201310047959.6
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN103794614B
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 林蔚峰;錢葉安;范純圣
• 申請（專利權）人: 豪威科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 宋融冰

1.一種圖像傳感器，其包括：

感光層，其用于接收紅外輻射、檢測所述紅外輻射并產生代表所述紅外輻射的電信號；

重新分配層，其位于所述光層之下，所述重新分配層包括一種圖案化的導體，用于接收所述電信號；

多個導電焊墊，其位于所述重新分配層之下，每個導電襯墊電氣連接至所述圖案化的導體的導體；以及

紅外吸收層，其位于所述感光層與所述重新分配層之間，所述紅外吸收層吸收所述紅外輻射以使所述紅外輻射的主體部分不會碰到所述重新分配層。

2.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括多層的不同材料。

3.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括在復合的金屬-介電材料-金屬夾層結構中的多層材料，所述復合的金屬-介電材料-金屬夾層結構包括位于第一金屬層與第二金屬層之間的介電層。

4.如權利要求3所述的圖像傳感器，其中，所述第一金屬層與所述第二金屬層具有不同的厚度。

5.如權利要求3所述的圖像傳感器，其中，所述紅外輻射穿過所述第一金屬層，并利用在所述第一金屬層及所述第二金屬層之間的共振形成駐波。

6.如權利要求3所述的圖像傳感器，其中，金屬層及介電層的參數是如此選擇的，使得在所述紅外輻射穿過所述第一金屬層時，所述紅外輻射利用在所述第一金屬層與所述第二金屬層之間的共振形成駐波。

7.如權利要求6所述的圖像傳感器，其中，所選擇的參數包括所述第一金屬層的材料類型、所述第二金屬層的材料類型、所述介電層的材料類型、所述第一金屬層厚度、所述第二金屬層厚度以及所述介電層厚度中的至少一個。

8.如權利要求3所述的圖像傳感器，其中，所述第一金屬層與所述第二金屬層中的至少一個包括鉻和鎳中的至少一種。

9.如權利要求3所述的圖像傳感器，其中，所述介電層包括SiO₂。

10.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括單一金屬層。

11.如權利要求10所述的圖像傳感器，其中，所述單一金屬層包括鉻和鎳中的至少一種。

12.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括復合的三層構造。

13.如權利要求12所述的圖像傳感器，其中，所述復合的三層構造為SiO₂-Cr₂O₃-SiO₂三層構造、SiO₂-TaN-SiO₂三層構造以及Cr-CrO_x-CrO_xN_y三層構造中的至少一種。

14.如權利要求1項所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括復合的雙層構造。

15.如權利要求14所述的圖像傳感器，其中，所述復合的雙層構造為Si₃N₄-TaN雙層構造以及SiC-SiO₂雙層構造中的至少一種。

16.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外吸收層包括單一的非金屬層。

17.如權利要求16所述的圖像傳感器，其中，所述單一的非金屬層包括Cr₂O₃、CrSiO、Ni_xO_y、碳黑以及黑色無機材料中的至少一種。

18.如權利要求1所述的圖像傳感器，其還包括在所述感光層上面的、用于吸收輻射的黑色光阻層。

19.如權利要求18所述的圖像傳感器，其中，所述黑色光阻層覆蓋所述感光層的無源區域。

20.如權利要求1所述的圖像傳感器，其還包括在所述感光層之下的、用于吸收輻射的黑色光阻層。

21.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述紅外輻射為波長范圍在900–1200nm的近紅外光。

22.如權利要求18所述的圖像傳感器，所述感光層包括由黑色光阻層覆蓋的多個外部畫素透鏡，第一多個畫素透鏡的部分在兩個外部畫素透鏡之間。