[發(fā)明專利]真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310046198.2
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN103255375A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 若林雅;加藤升;石澤泰明
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;嚴星鐵

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及具有串聯(lián)地配置的多個真空蒸鍍腔體與在上述串聯(lián)上并在各安裝腔體之間搬運進行蒸鍍的工件的真空搬運腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法，尤其涉及適于利用蒸鍍法進行的制造的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。

背景技術(shù)

具有在真空基板等工件上蒸鍍有機EL等的真空蒸鍍法。在一般的真空蒸鍍法中，為了持續(xù)進行穩(wěn)定的蒸鍍，需要以從蒸發(fā)源將材料蒸發(fā)速度保持為一定的方式進行控制。在使用電阻加熱或感應加熱等方法加熱蒸鍍材料并進行物理蒸鍍（PVC）的場合，為了蒸發(fā)速度穩(wěn)定，需要一定的時間，需要將材料蒸發(fā)速度保持為一定而一直蒸發(fā)。因此，當將工件一個個搬入真空蒸鍍腔體中并進行處理時，當在工件的蒸鍍后將工件從真空蒸鍍腔體搬出，搬入新的工件期間從蒸發(fā)源蒸發(fā)的材料對蒸鍍工序毫無用處，會成為材料損失。

作為解決降低該材料損失的課題的方法具有專利文獻1。在專利文獻1中公開了在真空搬運腔體的周圍設置真空蒸鍍腔體的群集形式的真空蒸鍍系統(tǒng)中在上述真空蒸鍍腔體中交替地搬入、搬出兩個工件，并進行蒸鍍的方法。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻1：日本特開2008-227477號公報

但是，如圖1所示，即使在串聯(lián)地配置真空搬運腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中，也期望降低搬運工件時的材料損失。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于提供在串聯(lián)地配置真空搬運腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中，能夠降低材料損失的經(jīng)濟性好的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。

本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，至少具有以下特征。

本發(fā)明是一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運工件的真空搬運腔體與對上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，由具有多個上述真空蒸鍍腔體的線構(gòu)成，該真空蒸鍍系統(tǒng)的特征在于，互相并列地設置N（N為2以上）條上述線，上述真空蒸鍍腔體是橫跨各個上述N條線而設置的N條線真空蒸鍍腔體，上述N條線真空蒸鍍腔體在每條線上具有蒸鍍上述工件的蒸鍍位置，當在上述N條線中的第一線上對第一上述工件進行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運腔體，并從上游側(cè)的上述真空搬運腔體搬入第三上述工件。

另外，本發(fā)明是一種真空蒸鍍方法，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運工件的真空搬運腔體與對上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，使具有多個上述真空蒸鍍腔體的線互相并列，具有N（N為2以上）條上述線，在橫跨上述N條線的上述真空蒸鍍腔體而設置的各個N條線真空蒸鍍腔體中對上述工件進行蒸鍍，當在上述N條線中第一線上對上述工件進行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運腔體，從上游側(cè)的上述真空搬運腔體搬入第三上述工件。

并且，上述N是2，上述另一線是第二線。

另外，上述真空搬運腔體可以具有送料機構(gòu)，該送料機構(gòu)具有在上述工件的搬運方向上沿前后伸縮的多級直動軸。

另外，從上游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或裝入室搬出上述工件，將上述工件向下游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或卸載室搬入。

另外，上述搬入或上述搬出通過設在蒸鍍位置的上方且在上述蒸鍍位置與搬入搬出位置之間升降的交接機構(gòu)來進行。

另外，上述N條線真空蒸鍍腔體具有從上述蒸鍍位置在下部的區(qū)域使蒸發(fā)源二維移動的蒸發(fā)源驅(qū)動機構(gòu)。

另外，上述真空搬運腔體的真空部設在比上述蒸鍍位置高的位置，上述N條線真空蒸鍍腔體具有向上述真空搬運腔體的真空部的下側(cè)突出的結(jié)構(gòu)。

另外，上述真空搬運腔體分別是橫跨上述N條線而設置的N條線真空搬運腔體，上述N條線真空搬運腔體具有使上述送料機構(gòu)在上述N條線間移動的機構(gòu)、或一臺水平多關(guān)節(jié)式搬運機器人。

另外，上述真空搬運腔體只搬運上述工件、或搬運與保持上述工件的工件搬運體或掩蔽件為一體的上述工件。

本發(fā)明的效果如下。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在串聯(lián)地配置真空搬運腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中能夠降低材料損失的經(jīng)濟性好的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的實施方式的真空蒸鍍系統(tǒng)的圖。

圖2是表示真空蒸鍍腔體與真空搬運腔體的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖3是真空搬運腔體內(nèi)的送料機構(gòu)的說明圖。

圖4是表示橫跨兩條線移動蒸發(fā)源，蒸鍍兩條線的工件的蒸鍍源驅(qū)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖。

圖5是表示橫跨兩條線進行的蒸鍍處理流程及蒸發(fā)源的動作流程的圖。

圖6是示意地表示蒸發(fā)源的動作的圖。