[發明專利]等離子體單元以及制造等離子體單元的方法

有效

• 申請號: 201310040245.2
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN103247502A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: D.梅因霍爾德
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: H01J17/04
• 分類號: H01J17/04;H01J11/22;H01J9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 胡莉莉;劉春元

技術領域

本發明一般地涉及一種等離子體單元（cell）以及一種制作等離子體單元的方法。

背景技術

等離子體顯示面板（PDP）在大的電視顯示器中是常見的。等離子體顯示器包括包含帶電的電離氣體的小單元。

等離子體顯示器是明亮的（針對模塊為1000勒克司或更高），具有寬的色域，并且可以以相當大的大小（斜對地高達150英寸（3.8m））被生產。顯示面板本身為約6cm（2.5英寸）厚，從而一般允許器件的（包括電子裝置的）總厚度小于10cm（4英寸）。

發明內容

根據本發明的實施例，單元包括半導體材料、被部署（dispose）在半導體材料中的開口、給開口的表面加襯里（line）的介電層、使開口閉合的覆蓋層（cap?layer）、鄰近開口被部署的第一電極以及鄰近開口被部署的第二電極。

根據本發明的實施例，面板包括半導體材料以及多個單元，其中每個單元都包括被部署在半導體材料中的開口、給開口的表面加襯里的介電層、密封開口的覆蓋層、鄰近開口被部署的第一電極以及鄰近開口被部署的第二電極。

根據本發明的實施例，用于制造半導體器件的方法包括：在半導體材料中形成開口，利用介電層給開口加襯里、利用覆蓋層使開口閉合、鄰近開口形成第一電極以及鄰近開口形成第二電極。

附圖說明

為了更完整地理解本發明以及其優點，現在參照連同附圖被采取的下面的描述，在所述附圖中：

圖1示出了等離子體顯示器組成；

圖2a示出了單元的實施例的橫截面視圖；

圖2b示出了單元的隔離的實施例；

圖2c示出了單元的隔離的另一實施例；

圖2d示出了單元的隔離的又一實施例；

圖2e示出了單元的實施例的流程圖；

圖2f示出了單元的實施例的俯視圖；

圖3a示出了單元的實施例的橫截面視圖；

圖3b示出了單元的實施例的流程圖；

圖4a示出了單元的實施例的橫截面視圖；

圖4b示出了單元的實施例的流程圖；

圖5a示出了單元的實施例的橫截面視圖；

圖5b示出了單元的實施例的流程圖；并且

圖6a至6c示出了單元的操作方法。

具體實施方式

目前優選的實施例的制作和使用在下面被詳細討論。然而，應該意識到的是，本發明提供了可以在各種各樣的特定上下文中被具體表現的許多可應用的發明概念。所討論的特定實施例僅僅是說明制作和使用本發明的特定方式，并且并不限制本發明的范圍。

本發明將關于在特定上下文中的實施例被描述，即關于半導體等離子體單元被描述。然而，本發明也可以適用于其它類型的等離子體單元。

面板通常在兩個玻璃面板之間的隔間化的空間（compartmentalized?space）中具有數百萬個微小單元。這些隔間或單元裝有惰性氣體和極小量水銀的混合物。正如在熒光燈中那樣，當水銀被蒸發并且電壓被施加在單元上時，這些單元中的氣體形成等離子體。隨著電（電子）的流動，當電子移動穿過等離子體時，電子中的一些撞擊水銀顆粒，從而瞬間增加分子的能量水平，直到過剩能量流出。水銀將能量作為紫外（UV）光子發射。

UV光子接著撞擊被部署在單元壁的內部上的磷光體。當UV光子撞擊磷光體分子時，該UV光子瞬間提高了磷光體分子中的外層軌道電子的能量水平，從而把電子從穩定狀態移到不穩定狀態。電子接著以比UV光更低的能量水平將過剩能量作為光子發射。較低能量的光子主要在紅外范圍中，但是約40%在可見光范圍內。因而，輸入能量部分地作為可見光被發射。

根據所使用的磷光體，不同顏色的可見光可以被發射。等離子體顯示器中的每個像素都由包括可見光的原色的三個單元組成。使到單元的信號的電壓變化因而允許了不同的被察知到的顏色。

等離子體顯示面板是被定位在兩個玻璃面板之間的成千上萬個小的發光單元的陣列。每個單元都利用諸如氦（He）、氖（Ne）、氙（Xe）、氬（Ar）之類的惰性氣體、其它惰性氣體或其組合來填充。當單元通過電極被供電時，這些單元是發光的。圖1示出了透視的等離子體顯示器組成100。

等離子體顯示器組成100示出了后玻璃板110和前玻璃板120。兩個介電層130和140被部署在前玻璃板120與后玻璃板110之間。各個單獨的等離子體單元150被布置在兩個介電層130、140之間。例如，三個等離子體單元151-153形成像素160。