[發明專利]一種全自動絲網印刷機的吸盤裝置

無效

• 申請號: 201310040226.X
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN103112242A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 佘鵬程;鄧斌;萬喜新;羅宏洋
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B41F15/20
• 分類號: B41F15/20;H01L31/18
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

1.?一種全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，包括吸盤座（2），通過連接板（4）裝在吸盤座（2）上的吸盤盒（5），該吸盤盒（5）上裝有吸片板（6）；所述吸盤盒（5）與吸片板（6）之間具有用于形成負壓區（7）的空腔，所述吸片板（6）上開有多個用于吸附硅片的吸附孔（8）；具有中空通道的所述吸盤座（2）和連接板（4）均與所述吸盤盒（5）的空腔連通；所述吸盤座（2）和連接板（4）上設有兩路氣體流道，其中一路為用于抽吸空腔內氣體便于吸片的吸片氣體流道，另一路為用于向空腔內供氣便于吸片脫離吸片板（6）的脫片進氣流道。

2.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸片氣體流道包括設置在吸盤座（2）上的吸片氣孔（13），設置在吸盤座（2）上且與吸片氣孔（13）連通的吸盤座環形槽（11），設置在吸盤座（2）與連接板（4）之間的夾縫（10），所述吸盤座環形槽（11）與空腔通過夾縫（10）連通。

3.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述脫片進氣流道包括設置在吸盤座（2）上的脫片進氣孔（12），設置在連接板（4）上的連接板環形槽（9），設置吸盤盒（5）上用于連通連接板環形槽（9）與空腔的孔；所述連接板環形槽（9）與所述脫片進氣孔（12）連通。

4.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤座（2）通過安裝座（1）裝在全自動絲網印刷機上。

5.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤座（2）與連接板（4）之間設有用于隔絕吸片氣體流道與脫片進氣流道的密封圈（3）。

6.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤盒（5）上裝有檢測吸片板（6）上是否吸附有硅片的檢測開關，所述吸盤盒（5）設置有多個吸片檢測孔。

7.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸附孔（8）的設置位置從吸片板（6）的中心向吸片板（6）四周徑向布置，且在同一徑向方向上，相鄰兩吸附孔之間的距離逐漸減小。

8.?根據權利要求1所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸片板（6）為高強度塑料制成的吸片板。

9.?根據權利要求2所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤座（2）的中空通道為貫穿吸盤座（2）的中心孔，且該吸盤座（2）的中心孔靠近連接板（4）的一端的口徑最大。

10.?根據權利要求3所述的全自動絲網印刷機的吸盤裝置，其特征在于，所述連接板（4）的中空通道為貫穿連接板（4）的中心孔，且該連接板（4）的中心孔靠近吸盤盒（5）的一端的口徑最大。