[發明專利]一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置

有效

• 申請號: 201310040102.1
• 申請日: 2013-01-31
• 公開（公告）號: CN103089592A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 曹嵐;張海燕;朱憲亮;莊馥隆;季鵬;陸華杰;龔海梅
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: F04B41/00
• 分類號: F04B41/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

技術領域

本發明涉及一種真空裝置，具體指一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置。

背景技術

航天應用紅外探測器的可靠性要求高，在探測器的生產研制過程中，需要對產品進行測試、試驗等一些了的操作，在這些過程中，均需要給紅外探測器提供真空環境，一般的，紅外探測器置于杜瓦中來獲得真空環境，而杜瓦真空的獲得則是由排氣裝置來實現。

在目前應用于紅外探測器排氣的裝置中，主要是采用單個或幾個工位的排氣臺手動進行排氣，排氣效率低，各工位間的排氣進程相互影響，設備自適應能力差。本發明提供了一種新型的用于紅外探測器的多工位排氣裝置，解決了目前存在的問題，可以多達20個工位同時排氣，各工位間互不干涉，且可以實現自動化智能排氣。

發明內容

基于上述研究紅外探測器壽命試驗的困難，本專利公開了一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置，其包括主腔體、主腔體密封閥、杜瓦密封閥、分子泵、插板閥、旁抽閥、機械泵、前級閥，其特征在于紅外探測器用真空排氣裝置結構簡單、易于拆裝、工位數目多、真空度能達到一個較高的水平、主腔體與工位的壓強差小、裝置選用的所有閥門和泵組均可進行自動化控制。

其中：

所述的主腔體是一個圓餅狀的腔體，其上表面的圓周上均勻分布多個法蘭外接接頭，同時主腔體下底面有多個外接接頭；

所述的主腔體密封閥（2）、插板閥（4）、旁抽閥（5）及前級閥（7）為超高真空氣動閥；

所述的裝置的密封形式均為金屬密封，其中，僅VCR拆卸處采用鎳圈密封，其余的接口處均采用無氧銅圈密封；

主腔體作為整個真空排氣裝置的公共真空室，其上表面的圓周上均勻分布多個外接法蘭接頭G將公共室分為多個分支。其中1個分支為測量工位，法蘭接頭后安裝真空計。其余為排氣工位，每一個法蘭接頭后一個主腔體密封閥ZX、一個柔性轉接頭CX，其中CX帶有VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進行對接。主腔體的排氣采用分子泵為主泵，機械泵為前級泵的方式實現，主腔體公共真空室與泵組間有兩個排氣通道：1、旁抽通道：旁抽閥連通主腔體至機械泵，旁通閥的一端與主腔體下底面法蘭A對接，旁通閥的另一端與機械泵進氣口處的三通的C法蘭對接；構成真空裝置的旁抽通道；2、主抽通道：插板閥連通主腔體至分子泵進氣口，插板閥的一端與主腔體的B法蘭接頭對接，插板閥的另一端與分子泵進氣口D法蘭接頭對接；然后前級閥連通分子泵排氣口至機械泵，前級閥的一端與分子泵出氣口E法蘭對接，前級閥的另一端與機械泵進氣口處的三通的F法蘭對接；

本發明的最大優點是：紅外探測器用真空排氣裝置結構簡單、易于拆裝，工位數目多，真空度能達到一個較高的水平、主腔體與工位的壓強差小、裝置選用的所有閥門和泵組均可進行自動化控制。

附圖說明

圖1為本發明的俯視圖。

圖2本發明的前視圖。

圖中標號說明：1、柔性轉接頭CX；2、主腔體密封閥ZX；3、主腔體；4、真空計；5、插板閥；6、旁抽閥；7、前級閥；8、分子泵；9、機械泵；

具體實施方式

下面結合附圖1、2，對本發明的具體實施方式作進一步的詳細說明：

其中，主腔體密封閥、前級閥、旁抽閥為VAT的高真空氣動閥門GE11，分子泵采用的是美國Agilent的渦輪分子泵泵TV551，插板閥采用沈陽科儀超高真空插板閥CCQ-J，機械泵采用美國Agilent的干泵TRISCROLL300，真空計采用美國Agilent的一體式全量程規FRG700。柔性轉接頭CX為CF35轉VCR3/8柔性接頭，A、C、G法蘭為CF35法蘭，B、D法蘭為CF100，法蘭為CF35法蘭，E、F法蘭為KF25法蘭。

排氣裝置中主腔體作為整個真空排氣裝置的公共真空室，其圓周上均勻分布21個G法蘭外接接頭將公共室分為21個分支。其中1個分支為測量工位，接頭后安裝真空計FRG700。其余20個分支為排氣工位，每一個接頭后一個主腔體密封閥ZX、一個柔性轉接頭CX，其中CX的VCR3/8為快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進行對接。以主腔體為參照物，自內而外分布的有：1、圓形主腔體，腔體圓周上均勻分布21個G法蘭外接接頭；2、主腔體密封閥ZX和真空計，前者數目20個，后者數目為1個，一端與G法蘭外接接頭，另一端與柔性轉接頭CX的CF35法蘭端對接，-密封圈為無氧銅片；3、柔性轉接頭CX，數目20個，其為CF35-VCR3/8柔性波紋管，它的一端與主腔體G外接接頭，密封圈為無氧銅片，另一端帶有VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進行對接；以主腔體為參照物，自上而下分布的分別有兩個排氣通道：1、旁抽通道：旁抽閥連通主腔體至機械泵，旁通閥的一端與主腔體下底面法蘭A對接，旁通閥的另一端與機械泵進氣口處的三通的C法蘭對接；構成真空裝置的旁抽通道；2、主抽通道：插板閥連通主腔體至分子泵進氣口，插板閥的一端與主腔體的B法蘭接頭對接，插板閥的另一端與分子泵進氣口D法蘭接頭對接；然后前級閥連通分子泵排氣口至機械泵，前級閥的一端與分子泵出氣口E法蘭對接，前級閥的另一端與機械泵進氣口處的三通的F法蘭對接。