[發明專利]一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置

有效

• 申請號: 201310040102.1
• 申請日: 2013-01-31
• 公開（公告）號: CN103089592A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 曹嵐;張海燕;朱憲亮;莊馥隆;季鵬;陸華杰;龔海梅
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: F04B41/00
• 分類號: F04B41/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置，其包括主腔體（1）、主腔體密封閥（2）、分子泵（3）、插板閥（4）、旁抽閥（5）、機械泵（6）和前級閥（7），其特征在于：

所述的主腔體（1）是一個圓餅狀的腔體，其圓周上均勻分布多個個法蘭外接接頭，同時主腔體下底面有多個法蘭外接接頭；

所述的主腔體密封閥（2）、插板閥（4）、旁抽閥（5）及前級閥（7）為超高真空氣動閥；

所述的裝置的密封形式均為金屬密封，其中，僅VCR拆卸處采用鎳圈密封，其余的接口處均采用無氧銅圈密封；

主腔體（1）作為整個真空排氣裝置的公共真空室，其圓周上均勻分布多個外接接頭將公共室分為多個分支，其中1個分支為測量工位，其余分支為排氣工位；每個分支排氣工位后均有一個主腔體密封閥ZX（2）和一個柔性轉接頭CX，其中CX帶有為VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進行對接；主腔體公共真空室與泵組間有兩個排氣通道：其一為旁抽通道，旁抽閥（5）連通主腔體至機械泵（6）；其一為主抽通道，插板閥（4）連通主腔體至分子泵（3），然后前級閥（7）連通分子泵至機械泵。