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[發(fā)明專利]帶排片功能的石英晶片厚度分選機及分選排片方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310039579.8 申請日: 2013-02-01
公開(公告)號: CN103128057A 公開(公告)日: 2013-06-05
發(fā)明(設(shè)計)人: 王維銳;劉木林;王均暉;張林友 申請(專利權(quán))人: 浙江大學臺州研究院
主分類號: B07C5/08 分類號: B07C5/08;B07C5/02;B07C5/38
代理公司: 臺州市南方商標專利事務(wù)所(普通合伙) 33225 代理人: 白家駒
地址: 317600 浙江省臺州*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 帶排片 功能 石英 晶片 厚度 分選 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種帶排片功能的石英晶片厚度分選機,其特征在于:包括上料模塊(1)、厚度測量模塊(2)、分選模塊(3)、排料模塊(5);上料模塊(1)將晶片輸送到位,由上電極(19)傳遞給厚度測量模塊(2)對晶片進行厚度測量;分選模塊(5)根據(jù)厚度測量模塊(3)的測量結(jié)果將晶片分選至不同的料盒(6)內(nèi);部分料盒(6)連接排料模塊(5);所述部分料盒(6)內(nèi)的晶片通過排料模塊(5)實現(xiàn)排料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶排片功能的石英晶片厚度分選機,其特征在于:所述上料模塊(1)包括上料電機(15),上料電機(15)的輸出端連接滾珠絲桿(13);滾珠絲桿(13)通過活動螺母連接頂片塊(14);頂片塊(14)的活動端設(shè)置于片盒(9)內(nèi);片盒(9)的頂端設(shè)置有光纖模塊(10);

上料電機(15)驅(qū)動滾珠絲桿(13)旋轉(zhuǎn),滾珠絲桿(13)帶動頂片塊(14)在片盒(9)內(nèi)沿直線導軌(12)向上運動,從而將片盒(9)中的晶片向上送。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶排片功能的石英晶片厚度分選機,其特征在于:所述厚度測量模塊(2)包括下電極(18),下電極(18)固定設(shè)置于下電極底板(17)上,下電極底板(17)通過直線軸承(16)連接測量模塊底板;下電極(18)的一側(cè)設(shè)置有用于調(diào)節(jié)下電極(18)高度的微分頭(20);

上電極(19)抓取晶片從片盒(9)中抽出,將晶片送到下電極(18)上,對晶片進行厚度測量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶排片功能的石英晶片厚度分選機,其特征在于:所述分選模塊(3)包括分選電機(24),分選電機(24)的輸出端連接所述上電極(19),分選電機(24)固定設(shè)置于滑臺(22)上,滑臺(22)通過滑臺電機(21)實現(xiàn)驅(qū)動;上電極(19)的活動區(qū)域下方設(shè)置有多個料盒(6);?

滑臺電機(21)驅(qū)動上電極(19)沿滑臺(22)的長度方向移動,使上電極(19)運動至不同的料盒(6)的上方,從而將所抓取的晶片放置于不同的料盒(6)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶排片功能的石英晶片厚度分選機,其特征在于:所述排料模塊(5)包括排料盒(28),排料盒(28)設(shè)置于料盒(6)的一側(cè);排料盒(28)的頂端設(shè)置有排料光纖(27);排料盒(28)設(shè)置于排片座(26)內(nèi);排料盒(28)連接絲杠(30),絲杠(30)通過排料電機(29)實現(xiàn)驅(qū)動。

6.一種石英晶片厚度分選排片方法,其特征在于,包括以下步驟:

第一步,將被測工件放入上料模塊(1)的片盒(9)中;啟動上料電機(15),使上料電機(15)驅(qū)動滾珠絲桿(13)旋轉(zhuǎn),滾珠絲桿(13)帶動頂片塊(14)沿直線導軌(12)向上運動,從而將片盒(9)中的晶片向上送;當頂片塊(14)送上的晶片將光纖模塊(10)的光線遮擋住時,上料電機(15)停止;

第二步,通過上電極(19)將送到位的晶片從片盒(9)中抽出,將晶片送到下電極(18)上,在上電極(19)與下電極(18)的配合下對晶片進行厚度測量;

第三步,根據(jù)測量結(jié)果,滑臺(22)在滑臺電機(21)的帶動下,將分選模塊(3)上的分選電機(24)和上電極(19)上抓取的晶片送到對應(yīng)的料盒(6)內(nèi);?

第四步,需要排料的晶片進入其對應(yīng)的排料模塊(5),晶片將排料光纖(27)的光線遮擋,在排料電機(29)和絲桿(30)的帶動下,片盒下降一定的高度,晶片被豎直排列在排料盒(28)內(nèi)。

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