[發明專利]輸送器以及部件檢查裝置

有效

• 申請號: 201310035060.2
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN103257657A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 前田政已;下島聰興
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20;G01R31/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;劉曉岑

技術領域

本發明涉及輸送部件的輸送器（handler），特別是涉及具有調節部件的溫度的溫度調節部的輸送器，以及具備該輸送器的部件檢查裝置。

背景技術

通常，在檢查電子部件的電氣特性的部件檢查裝置中，使用在基臺上的托盤與檢查用插口之間輸送檢查前、檢查后的電子部件的輸送器。在這樣的部件檢查裝置中，存在在將電子部件置于0℃以下的低溫后檢查該電子部件的電氣特性的裝置。

以往，作為冷卻電子部件的方法，例如公知有如專利文獻1記載那樣的技術。在專利文獻1中，在載臺載置有托盤，該托盤具有多個支承有電子部件的支承部。在該載臺的內部形成有冷卻路徑，該冷卻路徑經由載臺對托盤進行冷卻。而且，通過將冷卻了壓縮空氣的制冷劑從制冷劑供給部供給至載臺的冷卻路徑，來經由托盤冷卻電子部件。

專利文獻1：日本特開2004-347329號公報

然而，在利用上述的構成冷卻多個載臺的情況下，需要在每個載臺設置根據溫度控制制冷劑的供給量的流量控制閥。然而，若是這樣的構成，會導致連接制冷劑的供給源與各冷卻路徑的配管的構造變得復雜。另外，由于多個流量控制閥各自的狀態由于載臺不同而不同，所以對控制流量控制閥的開閥以及閉閥的控制部造成較大的負荷。

發明內容

本發明是鑒于上述的實際情況而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制在對支承多個部件的多個支承部進行冷卻之后造成控制部件的溫度的控制部的控制的負荷增大與冷卻回路復雜化的輸送器，以及具備該輸送器的部件檢查裝置。

本發明中的輸送器的一實施方式具備：第一冷卻路徑，其利用制冷劑對支承部件的第一支承部進行冷卻；第二冷卻路徑，其利用制冷劑對第二支承部進行冷卻，第二支承部支承部件且與上述第一支承部不同；第一加熱器，其對上述第一支承部進行加熱；第二加熱器，其對上述第二支承部進行加熱且與上述第一加熱器不同；第一溫度傳感器，其對上述第一支承部的溫度進行檢測；第二溫度傳感器，其對上述第二支承部的溫度進行檢測且與上述第一溫度傳感器不同；以及制冷劑供給部，其其將制冷劑通過流量控制閥向上述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑供給，上述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑被并列地連接于上述制冷劑供給部，上述輸送器具備控制部，上述控制部根據上述第一溫度傳感器的檢測值使上述流量控制閥進行開閥和閉閥的變化，并使上述第一加熱器的輸出變化，上述控制部根據上述第二溫度傳感器的檢測值使上述第二加熱器的輸出變化。

根據本發明中的輸送器的一實施方式，由于第一冷卻路徑和第二冷卻路徑被并列地連接于制冷劑供給部，所以通過了共通的流量控制閥的來自制冷劑供給部的制冷劑被供給至第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑。其結果是，與分別在第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑單獨地設置冷卻供給部的情況相比，能夠抑制冷卻回路復雜化。

另外，對于第一支承部而言，控制部根據第一溫度傳感器的檢測值改變流量控制閥與第一加熱器的輸出，另一方面，對于第二支承部而言，控制部根據第二溫度傳感器的檢測值僅改變第二加熱器的輸出。其結果是，能夠在控制部件的溫度之后減少對控制部的負荷。因此，能夠實現簡化冷卻部件的冷卻回路，并且，能夠在將部件控制在目標溫度之后減少對控制部的負荷。

本發明中的輸送器的其他的實施方式的上述第一冷卻路徑是制冷劑的流量比第二冷卻路徑小的流路。

根據本發明中的輸送器的其他的實施方式，由于第二冷卻路徑中的制冷劑的流量比第一冷卻路徑中的制冷劑的流量大，所以第二支承部比第一支承部被冷卻至更低的溫度。其結果是，能夠實現簡化冷卻回路以及減少向控制部施加的負荷，并能夠將第一支承部以及第二支承部控制在相同的溫度，能夠將第二支承部控制在比第一支承部的溫度更低的溫度。

本發明中的輸送器的其他的實施方式具備縮小上述第一冷卻路徑中的制冷劑的流量的節流閥。

根據本發明中的輸送器的其他的實施方式，由于利用第一節流閥縮小第一冷卻路徑中的制冷劑的流量，所以即使在第一冷卻路徑的流路截面積比第二冷卻路徑的流路截面積大的情況下，也能夠使第一冷卻路徑中的制冷劑的流量比第二冷卻路徑小。因此，與未具有這樣的節流閥的構成相比，還能夠提高第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑的形狀、大小所涉及的自由度。

本發明中的輸送器的其他的實施方式具備：收容容器，其收容有上述支承部；第一排出路徑，其將上述第一冷卻路徑的出口與上述收容容器連通；第二排出路徑，其將上述第二冷卻路徑的出口與上述收容容器連通。