[發明專利]輸送器以及部件檢查裝置

有效

• 申請號: 201310035060.2
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN103257657A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 前田政已;下島聰興
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20;G01R31/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;劉曉岑

1.一種輸送器，其特征在于，具備：

第一冷卻路徑，其利用制冷劑對第一支承部進行冷卻，所述第一支承部對部件進行支承；

第二冷卻路徑，其利用制冷劑對第二支承部進行冷卻，所述第二支承部對部件進行支承且與所述第一支承部不同；

第一加熱器，其對所述第一支承部進行加熱；

第二加熱器，其對所述第二支承部進行加熱且與所述第一加熱器不同；

第一溫度傳感器，其對所述第一支承部的溫度進行檢測；

第二溫度傳感器，其對所述第二支承部的溫度進行檢測且與所述第一溫度傳感器不同；以及

制冷劑供給部，其將制冷劑通過流量控制閥供給至所述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑，

所述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑被并列地連接于所述制冷劑供給部，

所述輸送器具備控制部，所述控制部根據所述第一溫度傳感器的檢測值使所述流量控制閥進行開閥和閉閥的變化，并使所述第一加熱器的輸出變化，所述控制部根據所述第二溫度傳感器的檢測值使所述第二加熱器的輸出變化。

2.根據權利要求1所述的輸送器，其特征在于，

所述第一冷卻路徑是制冷劑的流量比第二冷卻路徑小的流路。

3.根據權利要求1或者2所述的輸送器，其特征在于，

具備縮小所述第一冷卻路徑中的制冷劑的流量的節流閥。

4.根據權利要求1~3中任一項所述的輸送器，其特征在于，具備：

收容容器，其收容有所述支承部；

第一排出路徑，其將所述第一冷卻路徑的出口與所述收容容器連通；以及

第二排出路徑，其將所述第二冷卻路徑的出口與所述收容容器連通。

5.根據權利要求4所述的輸送器，其特征在于，具備：

第一止回閥，其配設于所述第一排出路徑并抑制氣體向所述第一冷卻路徑的流入；以及

第二止回閥，其配設于所述第二排出路徑并抑制氣體向所述第二冷卻路徑的流入。

6.根據權利要求5所述的輸送器，其特征在于，

在所述第一排出路徑中的所述第一止回閥的下游側連接有所述第二排出路徑中的所述第二止回閥的下游側的部位。

7.根據權利要求6所述的輸送器，其特征在于，

在所述第一排出路徑中的連接有所述第二排出路徑的部位的下游側具備升溫部，所述升溫部使通過所述第一排出路徑的制冷劑升溫。

8.根據權利要求1~7中任一項所述的輸送器，其特征在于，

所述輸送器具有多個所述第二冷卻路徑，

所述輸送器具備：第一節流閥，其縮小所述第一冷卻路徑中的制冷劑的流量；以及

第二節流閥，其被設置于所述多個第二冷卻路徑的各個路徑中，并縮小所述第二冷卻路徑中的制冷劑的流量。

9.一種部件檢查裝置，其特征在于，具備：

第一冷卻路徑，其利用制冷劑對第一支承部進行冷卻，所述第一支承部對部件進行支承；

第二冷卻路徑，其利用制冷劑對第二支承部進行冷卻，所述第二支承部對部件進行支承且與所述第一支承部不同；

第一加熱器，其對所述第一支承部進行加熱；

第二加熱器，其對所述第二支承部進行加熱且與所述第一加熱器不同；

第一溫度傳感器，其對所述第一支承部的溫度進行檢測；

第二溫度傳感器，其對所述第二支承部的溫度進行檢測且與所述第一溫度傳感器不同；以及

制冷劑供給部，其將制冷劑通過流量控制閥供給至所述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑，

所述第一冷卻路徑以及第二冷卻路徑被并列地連接于所述制冷劑供給部，

所述檢查裝置具備控制部，所述控制部根據所述第一溫度傳感器的檢測值使所述流量控制閥進行開閥和閉閥的變化，并使所述第一加熱器的輸出變化，所述控制部根據所述第二溫度傳感器的檢測值使所述第二加熱器的輸出變化。