[發明專利]一種通過GPIB接口實時生成多維變量密碼方法無效

申請號：	201310034996.3	申請日：	2011-01-27
公開（公告）號：	CN103165405A	公開（公告）日：	2013-06-19
發明（設計）人：	張琳;王慧;肖鋼;吉國凡;石志剛;金蘭;佘博文;孫昕	申請（專利權）人：	北京確安科技股份有限公司
主分類號：	H01L21/00	分類號：	H01L21/00;G01R31/28
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	100000 北京市海淀***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種通過 gpib 接口實時生成多維變量密碼方法
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【權利要求書】：

1.一種在集成電路晶圓測試過程中實現多維變量密碼并行寫入的方法，其特征在于包括如下：集成電路自動測試設備和全自動探針臺都必須具有并行測試能力和GPIB端口，二者配合使用才能完成，因為管芯的數字序列是自動探針臺產生的，通過自動探針臺設備的GPIB接口將這些信息輸入給測試機，并行測試探針卡可以采用多種排列方式；每次多管芯并行測試時，對晶圓上所有管芯的位置等多維變量進行數據采集，以多維變量作為密碼唯一性依據生成密碼數據，通過相應的軟件嵌入到芯片密碼寫入測試圖形中。

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