[發明專利]冷阱及冷阱的控制方法有效
| 申請號： | 201310032854.3 | 申請日： | 2013-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN103223260A | 公開（公告）日： | 2013-07-31 |
| 發明（設計）人： | 田中秀和 | 申請（專利權）人： | 住友重機械工業株式會社 |
| 主分類號： | B01D8/00 | 分類號： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 溫旭;郝傳鑫 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 控制 方法 | ||
1.一種冷阱，其具備能夠獨立控制的多個冷卻單元，且配置于將排氣對象容積與真空泵連接的排氣流路內，其特征在于，
各冷卻單元包括：
板單元，其露出配置于所述排氣流路；及
制冷機，其與所述板單元熱連接并對所述板單元進行冷卻，
各冷卻單元的板單元與其他冷卻單元的板單元遠離配置。
2.如權利要求1所述的冷阱，其特征在于，
所述冷阱還具備控制部，所述控制部將各冷卻單元的控制模式在通常運行模式與再生模式之間進行切換，其中，通常運行模式使從所述排氣對象容積通過所述排氣流路而來到的氣體凍結并捕捉在所述板單元的表面，再生模式使凍結在所述板單元的表面上的氣體氣化并通過所述真空泵向外部排出，
當所述多個冷卻單元中的一部分冷卻單元成為所述通常運行模式時，所述控制部將所述多個冷卻單元中的另一部分冷卻單元設為所述再生模式。
3.如權利要求1或2所述的冷阱，其特征在于，
所述冷阱還具備罩部，且該罩部熱連接于相鄰的2個板單元中的任意一個，并且至少局部性地覆蓋上述2個板單元的間隙。
4.一種冷阱的控制方法，其是權利要求1所述的冷阱的控制方法，該冷阱的控制方法的特征在于，包括：
在通常運行模式與再生模式之間切換各冷卻單元的控制模式的步驟，其中，通常運行模式使從所述排氣對象容積通過所述排氣流路而來到的氣體凍結并捕捉在所述板單元的表面，再生模式使凍結在所述板單元的表面的氣體氣化并通過所述真空泵向外部排出；及
當所述多個冷卻單元中的一部分冷卻單元成為所述通常運行模式時，將所述多個冷卻單元中的另一部分冷卻單元設為所述再生模式的步驟。
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