[發明專利]一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201310031273.8
• 申請日: 2013-01-28
• 公開（公告）號: CN103091921A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 張明;郝昭慧;尹雄宣
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/423;H01L29/417;H01L21/84;H01L21/336;H01L21/28
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及顯示面板領域，尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術

如圖1所示，為現有技術中的一種陣列基板的俯視示意圖，一般情況下，所述陣列基板都如圖1所示，包括柵掃描線11，數據線12，公共電極線13，像素電極14，公共電極(圖中未顯示，與所述公共電極線13相連)以及薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管包括柵極(圖中未示出，是所述柵掃描線11的一部分)，有源層16，源極17以及漏極18。所述有源層16在所述柵極上方，所述源極17和漏極18設置在所述有源層16上，其中，所述源極17連接所述數據線12，所述漏極18通過過孔15連接所述像素電極14。對柵極施加適當電壓，即可在有源層16形成電子溝道，而使源極17與漏極18之間形成導通狀態，連接漏極18的像素電極即可被充電，與通過公共電極線13加載電壓的公共電極之間形成電場，從而控制液晶層中液晶的旋轉，實現圖像顯示。

現有技術中，為了實現快速的充電能力，一般會減少源極與漏極之間的溝道寬度或者增大源極與漏極之間的通道范圍。然而，減少通道寬度通常需要輔以特殊光罩及光阻的配合，制作設計困難。而增大通道范圍則會造成開口率的損失，使液晶顯示器的光穿透率下降。

發明內容

本發明的實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置，可以容易地實現像素的快速充電能力與高的開口率。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一種陣列基板，包括：透明基板，交叉設置在所述透明基板上的柵線及數據線，設置在所述柵線及數據線限定的像素區域內的像素電極，所述柵線內設置有凹槽，所述凹槽包括底面和側壁；柵絕緣層設置在所述柵線上，覆蓋整個凹槽；源極圖案和漏極圖案中的一個設置在所述柵絕緣層上，覆蓋所述凹槽底面，所述源極圖案和漏極圖案上下對照設置；源極圖案電連接數據線，所述漏極圖案連接所述像素電極；所述鈍化層至少覆蓋所述凹槽的部分側壁；所述有源層設置在所述源極圖案和所述漏極圖案之間，只覆蓋所述凹槽的底面，所述有源層頂端到所述透明基板的距離小于或等于所述柵線頂端到所述透明基板的距離，且所述有源層的側面與所述柵絕緣層和所述鈍化層相接觸。

可選的，所述漏極圖案與所述像素電極同層設置。或者，所述漏極圖案與所述像素電極異層設置，所述漏極圖案設置在所述有源層與所述像素電極之間；所述漏極圖案的材料為不透光的金屬材料。

可選的，所述的陣列基板中所述有源層包括：一層n+a-Si層，設置在所述n+a-Si層上的a-Si層以及設置在所述a-Si層上方的另一層n+a-Si層。

可選的，所述凹槽包括四個側壁：在所述凹槽所在的一段柵線的水平方向上的，相對的第一側壁和第二側壁；以及在所述凹槽所在的一段柵線的垂直方向上的，相對的第三側壁和第四側壁。

可選的，所述源極圖案設置在所述柵絕緣層上，位于所述漏極圖案正下方，由所述數據線延伸而出覆蓋所述凹槽的第一側壁、第二側壁以及底面；所述鈍化層設置在所述源極圖案上，所述鈍化層上設置有過孔，所述過孔在所述凹槽的底面正上方對應的區域，所述鈍化層覆蓋所述凹槽的第一側壁和第二側壁。

可選的，所述源極圖案設置在所述柵絕緣層上，位于所述漏極圖案正下方，由所述數據線延伸而出覆蓋所述凹槽的第一側壁以及底面；所述鈍化層設置在所述源極圖案上，所述鈍化層上設置有過孔，所述過孔在所述凹槽的底面正上方對應的區域，所述鈍化層覆蓋所述凹槽的第一側壁。

可選的，所述漏極圖案設置在所述柵絕緣層上，位于所述源極圖案正下方，覆蓋所述凹槽的底面，所述漏極圖案通過設置在所述凹槽的第四側壁上的引線與所述像素電極相連；所述鈍化層設置在所述像素電極上，所述鈍化層上設置有過孔，所述過孔在所述凹槽的底面正上方對應的區域，所述鈍化層覆蓋設置在所述凹槽的第四側壁上的引線。

可選的，所述漏極圖案設置在所述柵絕緣層上，位于所述源極圖案正下方，覆蓋所述凹槽的底面，所述漏極圖案通過設置在所述凹槽的第一側壁上的引線與所述像素電極相連；所述鈍化層設置在所述像素電極上，所述鈍化層上設置有過孔，所述過孔在所述凹槽的底面正上方對應的區域，所述鈍化層覆蓋設置在所述凹槽的第一側壁上的引線。

一種陣列基板的制作方法，包括：

在基板上制作柵線和公共電極線，所述柵線內設置有凹槽，所述凹槽包括底面和側壁；

在形成柵線和公共電極線的基板上制作柵絕緣層，所述柵絕緣層覆蓋在整個凹槽上方；

在形成所述柵絕緣層的基板上制作源極圖案，所述源極圖案由所述數據線延伸而出覆蓋所述凹槽的部分側壁以及底面；