[發(fā)明專利]一種陣列基板及其制作方法和顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310030815.X
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103117283A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設計）人: 王本蓮;栗曉;代磊;韓靜;楊永菊;蔡科
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G09F9/33
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發(fā)明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種陣列基板及其制作方法和顯示裝置。

背景技術

現有技術中，為了實現窄邊框顯示面板，將柵線引線(Gate?fan-out?in?active?area，簡稱GIA)分兩部分完成。一部分與柵線層同步工序完成，另一部分與數據線層同步工序完成。在不增加工藝步驟的情況下完成了GIA線的布置，并且大部分GIA線布置在數據線的正下方，保證了較高的開口率。但是，為了不增加工藝步驟，則GIA過孔需要在有源層上與有源層工藝同步完成。由于正常工藝的有源層刻蝕中，只需要進行有源層的刻蝕，而需要保留GI絕緣層。而GIA過孔部分則需要同時刻蝕掉有源層和GI層，以保證后續(xù)數據線層工序形成的第二部分GIA線能與柵線層工序形成的第一部分GIA線相互電導通。這樣為了保證有源層工序只用一張掩膜版，需要考慮用半色調掩膜half?tone?mask或者灰色調掩膜gray?tone?mask，然而這種掩膜工藝成本很高。

發(fā)明內容

本發(fā)明的實施例提供一種陣列基板及其制作方法和顯示裝置，在既能保證開口率又不增加制作成本的基礎上，實現了窄邊框技術。

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術方案：

第一方面，提供一種陣列基板，包括：基板；位于所述基板上的柵極、柵線和位于所述柵線之間的第一柵線引線；覆蓋所述柵極、柵線和所述第一柵線引線的柵絕緣層；位于所述柵絕緣層上方的有源層、源極、漏極和數據線；覆蓋所述有源層、源極、漏極和數據線的鈍化層；位于所述鈍化層上方的像素電極圖形，所述像素電極圖形通過鈍化層上的過孔與所述漏極導通；所述方法還包括：

所述柵線將與所述柵線交叉排列的第一柵線引線隔開；

所述第一柵線引線包括信號傳輸區(qū)域和位于所述信號傳輸區(qū)域兩端的連接區(qū)域，其中所述信號傳輸區(qū)域與所述數據線平行且位于所述數據線下方，所述連接區(qū)域位于所述數據線區(qū)域的一側；被所述柵線隔開的兩段所述第一柵線引線相鄰的連接區(qū)域被與所述像素電極圖形同層形成的第二柵線引線通過過孔導通，所述過孔在所述鈍化層和所述柵絕緣層上；所述柵線通過所述柵線與所述柵線對應的第一柵線引線交叉處上方所述柵絕緣層和鈍化層上的過孔與所述第二柵線引線導通，其中所述第二柵線引線與所述第一柵線引線導通構成柵線引線與對應的柵線導通。

可選的，所述柵線和所述第一柵線引線由同一層導電材料通過一次構圖工藝形成。

可選的，所述第二柵線引線和所述像素電極圖形由同一層導電材料通過一次構圖工藝形成。

可選的，所述第一柵線引線的信號傳輸區(qū)域的寬度與所述數據線的寬度相同。

可選的，所述第一柵線引線上的連接區(qū)域位于所述數據線的同一側。

第二方面，提供一種陣列基板的制作方法，包括：

在基板上形成一層導電材料層通過構圖工藝形成柵極、柵線和第一柵線引線；

制作覆蓋所述柵極、柵線和所述第一柵線引線的柵絕緣層；

在所述柵絕緣層上形成有源層、柵極、漏極和數據線；

制作覆蓋所述有源層、柵極、漏極和數據線的鈍化層；

在所述漏極上方的鈍化層上形成第一過孔，在所述柵線與所述柵線對應的第一柵線引線交叉位置的鈍化層上形成第二過孔，在所述第一柵線引線的連接區(qū)域上方的柵絕緣層和鈍化層上形成第三過孔；

在所述鈍化層上形成一層透明導電材料層，通過構圖工藝形成像素電極圖形和第二柵線引線；

其中，所述第二柵線引線通過第三過孔將被所述柵線隔開的兩段所述第一柵線引線相鄰的連接區(qū)域導通，所述第二柵線引線通過所述第二過孔與對應的柵線導通，所述第二柵線引線與所述第一柵線引線導通構成柵線引線與對應的柵線導通。

第三方面，提供一種顯示裝置，包括陣列基板，其中：

所述陣列基板為第一方面所述的任一陣列基板。

本發(fā)明的實施例提供的陣列基板及其制作方法和顯示裝置，通過分兩部分制作柵線引線，即一部分與柵線同層，另一部分與像素電極圖形同層，在既能保證開口率又不增加制作成本的基礎上，實現了窄邊框技術。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明的實施例提供的一種陣列基板的俯視結構示意圖；