[發(fā)明專利]一種多曝光視場拼接系統(tǒng)和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310029993.0
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103969958A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武珩
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種多曝光視場拼接系統(tǒng)，其特征在于，包括：

掩膜，所述掩膜上設(shè)有大小不同的圖像；

多個照明單元，所述多個照明單元照射所述掩膜上的圖像以形成多個成像單元，每個成像單元包括一個曝光視場；

基板，將多個曝光視場在基板上拼接形成拼接視場；其中，

所述曝光視場包括：曝光視場PA，對應(yīng)曝光視場寬度PA，曝光視場PB，對應(yīng)曝光視場寬度PB，曝光視場PC，對應(yīng)曝光視場寬度PC，其中，PA>PB>PC；寬度PA=寬度PB=寬度PC。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場為梯形曝光視場。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場的數(shù)量為N個，N為自然數(shù)，N大于等于5且N不為4的倍數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述PA、PB和PC的滿足PB=（PA+PC）/2。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，當(dāng)所述曝光視場的數(shù)量N為奇數(shù)時，按下述公式將所述曝光視場拼接形成三種不同的拼接視場：

(N-1)/4*PA+(N+1)/2*PB+(N-1)/4*PC；

(N-1)/4*PA+(N-1)/2*PB+((N-1)/4+1)*PC；

((N-1)/4+1)*PA+(N-1)/2*PB+(N-1)/4*PC。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場的數(shù)量N為偶數(shù)時，按下述公式將所述曝光視場拼接形成二種不同的拼接視場：

(N/4+1/2)*PA+N/2*PB+(N/4-1/2)*PC；

(N/4-1/2)*PA+N/2*PB+(N/4+1/2)*PC。

7.一種采用如權(quán)利要求1所述的曝光視場拼接系統(tǒng)的多曝光視場拼接方法，其特征在于，包括：

在掩膜上設(shè)置大小不同的圖像；

通過多個照明單元照射所述掩膜上的圖像形成多個成像單元，每個成像單元包括一個曝光視場；

將所述多個曝光視場在基板上拼接形成拼接視場；其中，

所述曝光視場包括：曝光視場PA，對應(yīng)曝光視場寬度PA，曝光視場PB，對應(yīng)曝光視場寬度PB，曝光視場PC，對應(yīng)曝光視場寬度PC，其中，PA>PB>PC，寬度PA=寬度PB=寬度PC。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場為梯形曝光視場。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場的數(shù)量為N個，N為自然數(shù)，N大于等于5且N不為4的倍數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述PA、PB和PC滿足PB=（PA+PC）/2。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，當(dāng)所述曝光視場的數(shù)量N為奇數(shù)時，按下述公式將所述曝光視場拼接形成三種不同的拼接視場：

(N-1)/4*PA+(N+1)/2*PB+(N-1)/4*PC；

(N-1)/4*PA+(N-1)/2*PB+((N-1)/4+1)*PC；

((N-1)/4+1)*PA+(N-1)/2*PB+(N-1)/4*PC。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多曝光視場拼接方法，其特征在于，所述曝光視場的數(shù)量N為偶數(shù)時，按下述公式將所述曝光視場拼接形成二種不同的拼接視場：

(N/4+1/2)*PA+N/2*PB+(N/4-1/2)*PC；

(N/4-1/2)*PA+N/2*PB+(N/4+1/2)*PC。