[發明專利]基板搬送裝置及方法、部件安裝裝置、基板制造方法有效
| 申請號： | 201310027777.2 | 申請日： | 2013-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN103228125B | 公開（公告）日： | 2018-03-02 |
| 發明（設計）人： | 松井智仁 | 申請（專利權）人： | 重機自動化系統有限公司 |
| 主分類號： | H05K13/04 | 分類號： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司11240 | 代理人： | 余剛,吳孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板搬送 裝置 方法 部件 安裝 制造 | ||
1.一種基板搬送裝置，具備：
第一導軌，所述第一導軌在第一方向上搬送第一基板；
第二導軌，所述第二導軌在垂直于所述第一方向的第二方向上與所述第一導軌并排配置，并在所述第一方向搬送第二基板；
第一升降單元，所述第一升降單元具有第一升降部，所述第一升降部能在分別垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移動，且配置在作為所述第一基板的升降位置的所述第一導軌上的第一位置的下方；以及
第二升降單元，所述第二升降單元具有第二升降部，所述第二升降部能在所述第三方向上移動，且在所述第一方向上與所述第一升降部并排配置在作為所述第二基板的升降位置的所述第二導軌上的第二位置的下方。
2.根據權利要求1所述的基板搬送裝置，其中，
所述第一升降部和所述第二升降部分別呈具有四邊的矩形形狀；
所述第一升降單元被配置為使得所述第一升降部具有的四邊中的第一邊沿所述第一方向；
所述第二升降單元被配置為使得所述第二升降部具有的四邊中的第二邊在所述第一方向上與所述第一邊排列在一條直線上。
3.根據權利要求1所述的基板搬送裝置，其中，
所述第一升降單元及所述第二升降單元能夠各自改變配置。
4.根據權利要求1所述的基板搬送裝置，其中，
所述第二升降單元能夠改變配置，使得所述第二升降部在所述第二方向上與所述第一升降部并排。
5.根據權利要求2所述的基板搬送裝置，其中，
所述第一升降單元能夠改變配置，使得所述第一邊沿所述第二方向；
所述第二升降單元能夠改變配置，使得所述第二邊在所述第二方向上與所述第一邊排列在一條直線上。
6.根據權利要求3至5中任一項所述的基板搬送裝置，其中，
所述第一升降單元和所述第二升降單元作為獨立的單元而存在，并通過90度的旋轉動作改變所述配置。
7.根據權利要求1所述的基板搬送裝置，其中，
所述第一升降部及所述第二升降部具有彼此相同的形狀。
8.一種部件安裝裝置，具備基板搬送機構、供給部以及安裝部，
所述基板搬送機構具有：
第一導軌，所述第一導軌在第一方向上搬送第一基板；
第二導軌，所述第二導軌在垂直于所述第一方向的第二方向上與所述第一導軌并排配置，并在所述第一方向搬送第二基板；
第一升降單元，所述第一升降單元具有第一升降部，所述第一升降部能在分別垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移動，且配置在作為所述第一基板的升降位置的所述第一導軌上的第一位置的下方；以及
第二升降單元，所述第二升降單元具有第二升降部，所述第二升降部能在所述第三方向上移動，且在所述第一方向上與所述第一升降部并排配置在作為所述第二基板的升降位置的所述第二導軌上的第二位置的下方，
所述供給部配置在所述第一導軌的配置了所述第二導軌的一側的相反側，用于供給要被安裝于所述第一基板及所述第二基板的部件，
所述安裝部保持被所述供給部供給的部件，并把所保持的所述部件分別安裝于在所述第一位置通過所述第一升降部而上升的所述第一基板以及在所述第二位置通過所述第二升降部而上升的所述第二基板。
9.一種基板搬送方法，包括：
通過第一導軌在第一方向上搬送第一基板；
通過在垂直于所述第一方向的第二方向上與所述第一導軌并排配置的第二導軌在所述第一方向上搬送第二基板；
以第一升降部配置于所述第一導軌上的第一位置的下方的方式設置具有能在分別垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移動的所述第一升降部的第一升降單元，通過所述第一升降部使搬送至所述第一位置的所述第一基板升降；以及
以第二升降部在所述第一方向上與所述第一升降部并排配置在所述第二導軌的第二位置的下方的方式設置具有能在所述第三方向上移動的所述第二升降部的第二升降單元，通過所述第二升降部使搬送至所述第二位置的所述第二基板升降。
10.一種基板制造方法，包括：
通過第一導軌在第一方向上搬送第一基板；
通過在垂直于所述第一方向的第二方向上與所述第一導軌并排配置的第二導軌在所述第一方向上搬送第二基板；
以第一升降部配置于所述第一導軌上的第一位置的下方的方式設置具有能在分別垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移動的所述第一升降部的第一升降單元，通過所述第一升降部使搬送至所述第一位置的所述第一基板升降；
以第二升降部在所述第一方向上與所述第一升降部并排配置在所述第二導軌的第二位置的下方的方式設置具有能在所述第三方向上移動的所述第二升降部的第二升降單元，通過所述第二升降部使搬送至所述第二位置的所述第二基板升降；
從所述第一導軌的配置了所述第二導軌的一側的相反側供給要被安裝于所述第一基板及所述第二基板的部件；以及
保持所供給的所述部件，并把所保持的所述部件分別安裝于在所述第一位置通過所述第一升降部而上升的所述第一基板以及在所述第二位置通過所述第二升降部而上升的所述第二基板。
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